[实用新型]光纤气体传感器

权利要求书

1.光纤气体传感器，包括测量光源(1)，激发光源(2)，光纤合波器(3)，传输光纤(5)，光纤分波器(6)，带通滤波器(8)，气腔窗口(9)，装有待测气体(14)的气腔(11)，由低反射腔镜即振动膜片(151)、测量光纤(152)构成的低的低精细度法布里珀罗干涉模块(15)，还包括光电探测单元(16)，相位解调模块(19)，信号处理及控制系统(20)；采用一个低反射腔镜和一个测量光纤构成光纤法布里-珀罗干涉仪；激发光源(2)，连接光纤合波器(3)，传输光纤(5)，光纤分波器(6)并连接带通滤波器(8)，从气腔窗口(9)进入气腔(11)；入射到气腔(11)内的激发光被待测气体(14)吸收，生成声压力波被气腔(11)的另一端口处的振动膜片(151)转换为振动膜片(151)的振动，此振动膜片即为低反射腔镜；由测量光源(1)发出的测量光信号连接光纤合波器(3)、传输光纤(5)和光纤分波器(6)，进入法布里珀罗干涉仪的测量光纤(152)，传输到达光纤(152)的端面，从光纤(152)的端面和振动膜片(151)的表面反射回来的光信号经过光纤分波器(6)、传输光纤(5)再经过相位解调模块(17)、信号处理及控制系统(20)。

2.根据权利要求1所述的光纤气体传感器，其特征是气腔(11)的共振频率为1～10KHz，腔的直径4～10mm，长度30～100mm。

3.根据权利要求1所述的光纤气体传感器，其特征是振动膜片的反射率和光纤的端面反射率在40％以下，对振动膜片和光纤的端面镀反射膜。

4.根据权利要求1所述的光纤气体传感器，其特征是振动膜片选用石英或硅片，厚度小于5-50微米，直径2-5mm。