[实用新型]多用式调阻测试探针无效

专利信息
申请号: 200720038852.5 申请日: 2007-06-21
公开(公告)号: CN201083763Y 公开(公告)日: 2008-07-09
发明(设计)人: 张学忠 申请(专利权)人: 苏州和普激光设备开发有限公司
主分类号: G01R1/067 分类号: G01R1/067
代理公司: 苏州创元专利商标事务所有限公司 代理人: 范晴
地址: 215011江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 多用 式调阻 测试 探针
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及一种激光调阻用测试探针,具体是一种可有效调节空间自由度以便于灵活反复使用的多用式调阻测试探针。

背景技术

在激光调阻的过程中,待刻电阻的测量是决定最后调阻精度的关键要素之一,其中,测试探针的安置方式尤为重要,而它往往又受测试探针自身结构的约束。以目前普遍采用的刀片式探针为例,其结构主要包括刚性连接的探针头和刀片本体(基体);使用方法是先根据待刻电阻在基片上的位置定位探针板,使其上开孔对应待刻电阻区域;然后把一对对刀片式探针焊接到探针板上,确保探针头与测试仪器的表针引线连通;最后探针头上的测试针端头接触到待刻电阻的两个测量端电极,从而实现待刻电阻的测量。

这种探针结构方式存在以下缺点:

1.由于探针头与刀片本体刚性连接固定,缺少微动与缓冲,这样在移动基片的过程中如果探针抬升高度不够常常导致脆弱的测试针端头被碰坏;使得这类探针的寿命较短。

2.由于测试探针焊死在探针板上,无法相对活动;要对其空间自由度进行调节,也只能通过测试设备作用于探针板;然而这种间接调节作用毕竟有限,也缺少精度;况且这样的探针板与其上的测试探针构成的体系往往只能与一种基片精密对应;如果更换了待刻电阻基片,由于其上电阻数量及纹路发生变化,还是只能采用重新焊接测试探针的探针板,极不方便。

3.由于2所述的现有测试探针的使用不便,这就导致在更换基片电阻测量的过程中,频繁的采用新的探针板需要消耗大量的测试探针,无疑提高了厂家成本。

发明内容

本实用新型目的是:提供一种磁性吸附于探针板上,可相对于探针板活动,有效调节空间自由度以便于灵活反复使用的多用式调阻测试探针。

本实用新型的技术方案是:一种多用式调阻测试探针,包括探针头和基体;其特征在于一绝缘连接体一端与探针头连接,另一端与设置在基体上的高度微调机构的活动端连接;基体底部固定磁块。

同现有技术一样,所述探针头连接测试仪器的表针引线,保证测试针的端头在接触基片电阻上的电极触点时能将信号传递给测试仪器。至于探针头的具体形式可以是目前现有的结构,也可以采用如下优选形式:由测试针、针固定块、电导片和至少两个导电螺钉组成;所述针固定块上开有与导电螺钉等数的孔,孔内嵌入螺套,测试针的尾端横穿螺套固定;导电螺钉贯穿依次相叠的电导片、绝缘连接体和针固定块与螺套配接。实际操作时,测试仪器的表针引线焊接在电导体上,并经导电螺钉同横穿螺套的测试针连通实现信号的传递。这种针头结构简单且稳固耐用。

所述高度微调机构可以是现有的高度微调技术中采用较多的弹簧压杆,也可以采用如下优选形式:包括弹簧片、压块和高度调节螺丝;弹簧片一端由压块与螺钉固定在基体上,另一端为活动端连接绝缘连接体;高度调节螺丝贯通压块并抵住弹簧片。这类高度微调机构结构简单且性能稳定。

目前通用探针板的材料均为铁质或类似导磁性金属,这样本实用新型可以通过基体底部固定的磁块吸附于探针板上。实际使用时,根据待刻基片上的电阻数量及位置,在探针板上吸附多对本探针便可实现测量。更换基片时,只需在探针板上重新排布或简单的增减本探针即可。

本实用新型优点是:

1.由于本实用新型多用式调阻测试探针通过磁块吸附在探针板上,故可以根据待刻电阻在基片上的不同位置在探针板的前后、左右任意方向上自由改变,灵活排布;如果出现错误,也只需从探针板上取下测试探针,重新放置;故具有很高的空间自由度调节性能,且使用方便。

2.由于本实用新型多用式调阻测试探针能够反复灵活方便的使用,故电阻生产厂家只需准备若干支本测试探针和一个探针板便能胜任多种不同的电阻基片的测试工作,极大的节约了成本。

3.由于本实用新型多用式调阻测试探针上设有高度调节机构,能对测试针端头的高度进行自由微调,提供一定的垂直向缓冲距离,有效防止端头接触移动中的基片而被碰坏的情况发生,提高了测试探针的工作寿命。

附图说明

下面结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述:

图1为本实用新型结构示意图。

图2为本实用新型的零件装配示意图。

图3为本实用新型的使用状态示意图。

其中:1、基体  2、绝缘连接体;3、磁块;4;测试针;5、针固定块;6、电导片;7、导电螺钉8、螺套  9、弹簧片;10、压块  11、高度调节螺丝  12、探针板  13、表针引线。

具体实施方式

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