[实用新型]外延炉尾气净化器

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种废气处理装置，特别是涉及一种对Epi、Ploy或PECVD化学气相沉积工艺尾气进行净化处理的外延炉尾气净化器。

背景技术

在Epi、Ploy或PECVD化学气相沉积工艺尾气中含有多种有毒废气，如SiHC₃、HCl、PH₃等，这些有毒气体必须经过严格的处理达到排放标准后才能排入大气中。这些废气中有的能与水反应，生成SiO₂o和HCl气体等，而HCl等气体和废气中的其他成份可以被水有效吸收，因此，目前，美国、俄罗斯、日本等国大多采用水吸收型废气处理系统，采用水柱淋洗废气和多孔填料吸收，大多吸收处理效果不理想，且为了抽出废气都会安装离心风机等抽风设备，这样，尾气净化装置的体积相对较大，相应地设备的制作成本和运行成本也较高，能源消耗出较大，设备价格昂贵。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是：解决现有的尾气净化装置体积大、制作成本和运行成本高、设备能耗大、进气口易堵塞等技术问题，本实用新型提供一种外延炉尾气净化器，它不仅结构紧凑、制作成本低、设备能耗低、运行成本低，废气净化效率高、效果好，设备检修方便。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种外延炉尾气净化器，具有壳体，壳体下方设置有密闭的水箱，壳体内设置有横隔板和纵隔板，将壳体内腔分隔成初次洗涤室、二次洗涤室和填料室，二次洗涤室设在初次洗涤室上方，横隔板中心开有通气口，横隔板与壳体间工作时形成水封，初次洗涤室底部和填料室底部与水箱间工作时形成水封，壳体顶端装有进气口，进气口通过进气管道与初次洗涤室下部相通，二次洗涤室与填料室通过通气管道连通，初次洗涤室内装有大流量喷嘴喷淋装置，二次洗涤室内装有多个细雾高速喷嘴喷淋装置，填料室内充填有填料，填料室顶端装有排泄锥喷嘴喷淋装置和排气口，排气口与排气管道相通，排气管道深入填料室下部，排泄锥喷嘴喷淋装置的下方装有圆锥形管口，水箱的顶端装有向水箱补水的补水口、底部装有排污口和排净口，初次洗涤室下部装有通向壳体外的溢流管道，溢流管道的溢流口高于初次洗涤室的底面，壳体外装有循环泵，循环泵的进水口通入水箱液面下、循环泵的出水口通过水管与大流量喷嘴喷淋装置、细雾高速喷嘴喷淋装置及排泄锥喷嘴喷淋装置相连。

外延炉尾气从进气口通过通气管通入初次洗涤室，在初次洗涤室中大流量喷嘴喷淋装置对初次洗涤室进行涂布，清除尾气中的粗粒杂质和吸收部分废气，经过初次洗涤后的废气通过通气口进入二次洗涤室，二次洗涤室内的细雾高速喷嘴喷淋装置对二次洗涤室进行喷雾，确保有效清除废气中的杂质和酸性废气的中和吸收，最后废气进行填料室进行最后的精细处理，进一步提高净化效率，排泄锥喷嘴喷淋装置对填料室进行喷淋，提高清洗废气的效率，同时，根据文丘里原理，在排气口处形成负压，有利于废气排出。

在循环泵出水口与排泄锥喷嘴喷淋装置间相连通的水管上装有调压阀，用于调节排泄锥喷嘴喷淋装置喷出的中和循环液的压力和流速，以调节排气口处的负压值，控制废气排出速度。

所述的进气管道顶端装有清渣机构，进气口装在进气管道上部，进气口与进气管道内腔相连通，操作清渣机构，及时清除进气口粘结的SiO₂粉尘，可有效防止SiO₂粉尘将进气口堵塞。

所述的进气管道由上进气管和下进气管组成，清渣机构具有清渣棒、进水槽和上盖，清渣棒下端有与清渣棒一体结构或固定连接的清渣活塞，清渣活塞圆周设置有外螺纹，上进气管上部内壁设置有内螺纹段，清渣活塞与上进气管螺纹连接，上进气管上装有进气口，上盖盖在进水槽上端、并与进水槽密封固定，上盖中心开有上进气管连接孔，上进气管穿过上盖中心的上进气管连接孔，插入进水槽的下部，上进气管与上盖密封固定，进水槽底部中心开有下进气管连接孔，下进气管上端插入进水槽底部的下进气管连接孔中，下进气管与进水槽密封固定，进水槽上部开有斜进水口，斜进水口通过连接水管与水管连接。根据生产工艺确定清渣机构工作的时间间隔，当需要清除进气口的粉尘时，先旋拧清渣棒，使清渣活塞与上进气管分离后，将清渣活塞上下移动，以清除进气口处粘结的粉尘，清除完毕，将清渣棒回旋至清渣活塞与上进气管连接位置，以免设备漏气。

为便于安装，所述的上进气管分为上进气管上段和上进气管下段，进气口装在上进气管上段上，上进气管上段下部外壁有凸环，上进气管下段上端有螺纹，上进气管上段和上进气管下段通过连接螺母连接。上进气管上段相对于上进气管下段在360°范围内旋转，可根据需要将进气口转至适当的位置。