[实用新型]超大台面散光曝光机无效

专利信息
申请号: 200720054212.3 申请日: 2007-07-17
公开(公告)号: CN201066434Y 公开(公告)日: 2008-05-28
发明(设计)人: 夏卫平 申请(专利权)人: 志圣科技(广州)有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 广州市南锋专利事务所有限公司 代理人: 李永庆
地址: 510850广东省广州*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 超大 台面 散光 曝光
【权利要求书】:

1.一种超大台面散光曝光机,包括台框(2)、UV灯源(1)及与UV灯源(1)相配合的第一反射罩(11)、第二反射罩(12)、第三反射罩(13),其特征在于:还包括减速马达(3)、线形轴承(4)、皮带(5),所述减速马达(3)通过皮带(5)带动线形轴承(4)转动,所述台框(2)由减速马达(3)通过皮带(5)驱动,所述台框(2)上装有两块22″×24″的PCB板(21),在该台框(2)上设有多个真空吸嘴(22)及真空泵。

2.根据权利要求1所述的超大台面散光曝光机,其特征在于:所述第一反射罩(11)是一皱纹铝板。

3.根据权利要求1所述的超大台面散光曝光机,其特征在于:所述第二反射罩(12)是一皱纹铝板。

4.根据权利要求1所述的超大台面散光曝光机,其特征在于:所述第三反射罩(13)是由皱纹铝板和镜面铝板组成。

5.根据权利要求1所述的超大台面散光曝光机,其特征在于:所述真空吸嘴(22)有六个,所述真空泵为四个。

6.根据权利要求1所述的超大台面散光曝光机,其特征在于:所述UV灯源(1)由8千瓦的灯管和10千瓦的安定器组成。

7.根据权利要求1所述的超大台面散光曝光机,其特征在于:在所述台框(2)下方还设有两个把手(24),在台框(2)上方还设有按钮(25),在所述台框(2)上还设有玻璃(23)。

8.根据权利要求1所述的超大台面散光曝光机,其特征在于:还包括冷冻装置(6),该冷冻装置(6)设有压缩机(62)、冷却台面出风口(61),所述压缩机(62)为一7.5HP的压缩机。

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