[实用新型]防止晶圆破碎的阻挡装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种防止晶圆破碎的阻挡装置。

背景技术

在TEL(Tokyo Electron Limited，东京电子有限公司)生产的ACT12表面预处理组件中，3-顶针结构20作为第一运动部件1，保温盖21作为第二运动部件2，两者组成一个预处理室，用于预处理晶圆22(见图1、2)，所述保温盖21包括第二运动部件2和硬阻挡装置3，该硬阻挡装置3安装在第二运动部件2并处于第一运动部件1和第二运动部件2之间。但是，由于保温盖21上的硬阻挡装置3是由刚性材料(例如铁)制成，当预处理室的3-顶针结构20和保温盖21的移动速度不一致时，两者就会发生强烈碰撞，致使3-顶针结构20上的晶圆22产生震动和移位，此时如果机械手从3-顶针结构20上取放晶圆22时就容易造成晶圆22破碎(见图2)，也有可能损坏机械手。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种防止晶圆破碎的阻挡装置，能有效阻止预处理室的第一运动部件和第二运动部件的强烈碰撞，使晶圆不再因移位而摔碎。

为了解决上述技术问题，本实用新型防止晶圆破碎的阻挡装置，设于第二运动部件上，并处于第一运动部件和第二运动部件之间，所述阻挡装置内设有气缸，该气缸的开口处设有活塞，且该活塞内侧的气缸中设有使活塞恢复位置的弹簧，在该弹簧所占位置的气缸侧边还开设有出气小孔。

本实用新型的阻挡装置，能有效避免预处理室的第一运动部件和第二运动部件的强烈碰撞，从而克服了晶圆在预处理过程中易破碎的问题，使晶圆摔碎的频率由每个月的2～4次降为零。

附图说明

图1是现有硬阻挡装置的结构示意图；

图2是现有硬阻挡装置易造成晶圆破碎的过程示意图；

图3是本实用新型防止晶圆破碎的阻挡装置的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细说明。

如图3所示，本实用新型防止晶圆破碎的阻挡装置设于第二运动部件2上，并处于第一运动部件1和第二运动部件2之间，其中，所述阻挡装置内设有气缸4，该气缸4的开口处设有活塞5，且该活塞5内侧的气缸4中设有使活塞恢复位置的弹簧6，在该弹簧6所占位置的气缸4侧边还开设有出气小孔7。所述出气小孔7可控制活塞5的运动速度和加速度，从而控制碰撞的强度。

本实用新型的阻挡装置选用材料为气动阻尼或弹性材料，因此又称为软阻挡装置。

在本实用新型的一个实施例中，当第一运动部件1的速度大于或小于第二运动部件2时，该两个运动部件就会发生碰撞。第一运动部件1与活塞5碰撞后，出气小孔7可以控制活塞5的运动速度和加速度来控制碰撞的强度。当第一运动部件1和第二运动部件2分开时，弹簧6可以恢复活塞5的位置，为防止下一次碰撞做准备。