[实用新型]实时测量表面形貌的正弦相位调制干涉装置

权利要求书

1、一种实时测量表面形貌的正弦相位调制干涉装置，包括一半导体激光器(1)沿该半导体激光器(1)的出射光束前进方向同光轴地依次设置第一透镜组(2)、分束器(3)，在该分束器(3)的透射光束(t1)的前进方向上设置被测物体(5)，在分束器(3)的反射光束(f1)的前进方向上放置有参考平板(4)；光束(f1)被参考平板(4)反射后的前进方向上依次放置有第二透镜(6)和探测元件(7)，其特征在于：所述的探测元件(7)的输出端与信号处理单元(11)的第一输入端(8a)相连接，信号处理单元(11)的输出端与计算机(12)相连接，与半导体激光器(1)连接的驱动器(13)分别与直流电源(14)和信号源(15)连接，该信号源(15)的第二输出端与所述的信号处理单元(11)的第二输入端(8b)相连接。

2、根据权利要求1所述的实时测量表面形貌的正弦相位调制干涉装置，其特征在于所述的分束器(3)是指能够将入射光按接近于1∶1的光强比分成两束光的分光元件的分光棱镜、或一面镀有析光膜的平行平板。

3、根据权利要求1所述的实时测量表面形貌的正弦相位调制干涉装置，其特征在于所述的参考平板(4)是一对着分束器(3)一侧的表面上镀有增透膜的平行平板。

4、根据权利要求1所述的实时测量表面形貌的正弦相位调制干涉装置，其特征在于所述的探测元件(7)是一维或二维光电探测器。

5、根据权利要求1所述的实时测量表面形貌的正弦相位调制干涉装置，其特征在于所述的信号处理单元(11)包括实时相位探测电路(8)、实时鉴相电路(9)与同步电路(10)。

6、根据权利要求5所述的实时测量表面形貌的正弦相位调制干涉装置，其特征在于所述的实时相位探测电路(8)的内部结构包括第一放大器(801)、第二放大器(802)、计算电路(803)、第一低通滤波器(804)、第二低通滤波器(805)。

7、根据权利要求5所述的实时测量表面形貌的正弦相位调制干涉装置，其特征在于所述的实时鉴相电路(9)的内部结构包括第三放大器(901)，第四放大器(902)，除法电路(903)，解相电路(904)，相位补偿电路(905)，所述的相位补偿电路(905)由单片机构成。