[实用新型]晶圆支架无效
| 申请号： | 200720067625.5 | 申请日： | 2007-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN201024212Y | 公开（公告）日： | 2008-02-20 |
| 发明（设计）人： | 曾玉帆;郭晓清;边逸军 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;H01L21/687 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 支架 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶圆支架，用于承载晶圆，该晶圆支架包括底座和垂直设置在底座上的四根支柱，每个支柱的上段设有支柱槽；其特征在于：支柱槽表面和支柱上表面的连接段设置为坡面。
2.如权利要求1所述的晶圆支架，其特征在于：所述坡面为晶圆平放在晶圆支架的中心位置时，晶圆边缘位置和支柱上表面的连接段。
3.如权利要求1或2所述的晶圆支架，其特征在于：所述坡面为一斜形的坡面。
4.如权利要求1或2所述的晶圆支架，其特征在于：所述坡面为一弧形的坡面。
5.如权利要求4所述的晶圆支架，其特征在于：所述弧形的坡面朝向晶圆支架中心凹陷。
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