[实用新型]全金属角阀

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种真空系统用阀门，特别地，涉及一种极高真空系统用的全金属角阀。

背景技术

全金属角阀是真空系统中必不可少的一种阀门，在航天、加速器、电子、半导体、真空系统、能源、机械等工业领域或科研领域中广泛应用。通常，漏率小于10^-2Pa.M³/S的真空系统称为低真空系统，漏率小于10^-9Pa.M³/S的真空系统称为高真空系统，漏率小于10^-10Pa.M³/S的真空系统称为超高真空系统。

常见的全金属角阀包括阀体、阀盖以及密封组件，阀体具有第一密封座结构，密封组件包括第二密封座结构和导向机构，阀盖和阀体密封配合，密封组件的导向机构与阀盖密封配合并可带动第二密封座结构沿一中心轴线移动，从而使第一密封座结构和第二密封座结构配合使所述全金属角阀关闭。

图3显示了这种用于高真空系统或超高真空系统的全金属角阀，在阀门关闭时，需要实现阀体50的空间500和空间600的交界处的密封，第二密封座结构60的阀板550的底部设置有无氧铜密封座结构551，在空间500和空间600的交界的阀体上设置有第一密封座结构561，通常该第一密封座结构561为不锈钢刀口，导向机构70的阀杆552带动阀板550可沿轴线X上下移动，由于不锈钢的硬度大于无氧铜的硬度，在阀杆552推动作用下，不锈钢刀口561和无氧铜密封座结构551可咬合，从而实现所述密封。然而，这种密封方式要求对不锈钢刀口561和无氧铜密封座结构551来回复位重复性要求特别高，也就是说，对于任何一次阀门的关闭，不锈钢刀口561和无氧铜密封座结构551的咬合方式不能有变化，丝毫之差就影响整个阀门的密封，使得整个真空系统无法运作；同时这种密封方式对阀门中诸如阀板550、阀杆552和带动阀杆552运动的零件的同轴度、垂直度以及导向性要求也高，对不锈钢刀口561的材料的致密性强度要求更高。还由于此类阀门在使用过程中经常要被烘烤，由于不锈钢与无氧铜的热膨胀系数不一致，加热后无氧铜材质发生变化等，导致阀门关闭不严，使用者为了提高阀门密封性，不得不加大关闭力矩，使不锈钢刀口561和无氧铜密封座结构551的咬合更紧，这往往会导致不锈钢刀口561易疲劳、受损，从而使阀门使用寿命大大下降；比如说，市场上较多的此类全金属角阀在数百次甚至几十次之后，阀门刀口与无氧铜密封座就被损坏。

在过去的几十年里，人们一直使用此类全金属角阀，尚未能提出一种改进的密封结构，以提高全金属角阀的使用寿命。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种具有改进的密封结构的全金属角阀，以克服所述传统的全金属角阀的密封结构存在的问题，从而使全金属角阀的使用寿命延长。

为了实现上述目的，本实用新型提供一种全金属角阀，其包括阀体、阀盖和密封组件，所述阀体包括第一密封座结构，所述密封组件包括第二密封座结构和导向机构，所述阀盖和所述阀体密封配合，所述密封组件的所述导向机构与所述阀盖密封配合并可带动所述第二密封座结构沿一中心轴线移动，从而使所述全金属角阀关闭；其特点是，还包括：一碟形密封环，设置在所述第一密封座结构和所述第二密封座结构之间；所述第一密封座结构具有第一密封面，所述第二密封座结构具有第二密封面，所述碟形密封环的两端部分别具有第三密封面和第四密封面，从而在所述全金属角阀关闭时，所述第一密封面和所述第二密封面分别与所述第三密封面和所述第四密封面密封贴合。