[实用新型]一种改进型光阻瓶装置无效
| 申请号： | 200720069181.9 | 申请日： | 2007-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN201035317Y | 公开（公告）日： | 2008-03-12 |
| 发明（设计）人： | 洪伟;郝斌荣 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 改进型 瓶装 | ||
【权利要求书】：
1.一种改进型光阻瓶装置，它包括：光阻瓶，设置于光阻瓶口的密封盖，以及穿过密封盖进入光阻瓶内部的气体输入管道及光阻输出管道，所述光阻输出管道的一端深入光阻瓶的底部，其特征是：所述光阻瓶的底部向外突出。
2.如权利要求1所述的改进型光阻瓶装置，其特征是：所述光阻瓶的底部为半球型。
3.如权利要求1所述的改进型光阻瓶装置，其特征是：所述光阻输出管道深入光阻瓶底部的一端的管口形状为楔型。
4.如权利要求1所述的改进型光阻瓶装置，其特征是：所述的光阻瓶装置还具有一个与光阻瓶相配合的底座。
5.如权利要求4所述的改进型光阻瓶装置，其特征是：所述底座的底面为平面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司，未经中芯国际集成电路制造(上海)有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200720069181.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：图形编程语言对象编辑及报告工具
- 下一篇：在发射方形成传输信号的方法和装置
