[实用新型]一种可避免因抽风不畅而宕机的氧化炉有效
| 申请号： | 200720071431.2 | 申请日： | 2007-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN201081534Y | 公开（公告）日： | 2008-07-02 |
| 发明（设计）人： | 张卫民;黎健;宋大伟 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | F27B5/04 | 分类号： | F27B5/04;F27B5/06;F27B17/00;H01L21/00;H01L21/316 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 避免 抽风 不畅 氧化 | ||
【权利要求书】：
1.一种可避免因抽风不畅而宕机的氧化炉，该氧化炉包括氧化管架、设置在氧化管架中的氧化管和设置在氧化管与氧化管架间的金属加热单元，该氧化管用于通入反应气体进行氧化，该氧化管架与该氧化管间通有用于防止金属污染的防污惰气，该氧化炉对应该反应气体设置一第一抽风装置，其特征在于，该氧化炉还对应该防污惰气设置一第二抽风装置。
2.如权利要求1所述的可避免因抽风不畅而宕机的氧化炉，其特征在于，该第二抽风装置为一抽风泵。
3.如权利要求1所述的可避免因抽风不畅而宕机的氧化炉，其特征在于，该第一抽风装置为一抽风泵。
4.如权利要求1所述的可避免因抽风不畅而宕机的氧化炉，其特征在于，该氧化管为石英管。
5.如权利要求1所述的可避免因抽风不畅而宕机的氧化炉，其特征在于，该防污惰气为氮气。
6.如权利要求1所述的可避免因抽风不畅而宕机的氧化炉，其特征在于，该反应气体为氢气、氧气和氮气。
7.如权利要求1所述的可避免因抽风不畅而宕机的氧化炉，其特征在于，该反应气体为氧气和氮气。
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