[实用新型]一种排气流量自动控制和监测装置有效
| 申请号： | 200720071748.6 | 申请日： | 2007-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN201097105Y | 公开（公告）日： | 2008-08-06 |
| 发明（设计）人： | 李勇刚 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;G03F7/26;G03F7/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 排气 流量 自动控制 监测 装置 | ||
【权利要求书】：
1. 一种排气流量自动控制和监测装置，其特征在于，至少包括排气流量传感器、电路控制模块、执行元件模块和排气调节阀，排气流量传感器与涂胶显影轨道机器的排气管道支路相连；电路控制模块分别与排气流量传感器、执行元件模块相连；排气调节阀置于排气管道支路中；排气管道支路与工厂的排气主系统相连。
2. 如权利要求1所述的排气流量自动控制和监测装置，其特征在于，所述排气流量传感器是电子气体压力传感器。
3. 如权利要求1或2所述的排气流量自动控制和监测装置，其特征在于，所述电路控制模块至少包括单片机、限流电阻和三极管，所述单片机与所述排气流量传感器相连。
4. 如权利要求3所述的排气流量自动控制和监测装置，其特征在于，所述三极管的数目为六个。
5. 如权利要求3所述的排气流量自动控制和监测装置，其特征在于，所述单片机包括两个中断和四个输出端口。
6. 如权利要求1或2所述的排气流量自动控制和监测装置，其特征在于，所述执行元件模块至少包括马达、皮带、蜗杆、拖块、连杆、圆盘、中轴杆，马达通过皮带与蜗杆相连，蜗杆嵌套于拖块中，拖块通过连杆与圆盘相连，中轴杆嵌套于圆盘的中心位置。
7. 如权利要求6所述的排气流量自动控制和监测装置，其特征在于，所述排气调节阀固定于所述中轴杆上。
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