[实用新型]存放晶圆的传送盒有效
| 申请号： | 200720071922.7 | 申请日： | 2007-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN201112362Y | 公开（公告）日： | 2008-09-10 |
| 发明（设计）人： | 许端格;刘佩宜 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;B65D25/28 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 存放 传送 | ||
【权利要求书】：
1. 一种存放晶圆的传送盒，其特征在于，该传送盒两侧壁上安装有活动式手柄机构，其具有枢转连接于传送盒侧壁上的旋转盘以及供工作人员搬运时握住的手柄，所述手柄固定于该旋转盘上。
2. 如权利要求1所述的传送盒，其特征在于：所述活动式手柄机构包括固定于传送盒侧壁上的扣持件，转动旋转盘，所述扣持件与旋转盘的不同位置配合，将手柄固定于不同的倾斜角度。
3. 如权利要求2所述的传送盒，其特征在于：所述旋转盘包括齿形部以及位于齿形部之间的数个凹槽，扣持件通过与不同位置的凹槽配合将手柄固定在不同的倾斜角度。
4. 如权利要求2所述的传送盒，其特征在于：所述旋转盘还设有限位部，所述扣持件两侧安装有阻挡部，该阻挡部通过与对应的限位部配合将旋转盘限制在一定范围内旋转。
5. 如权利要求4所述的传送盒，其特征在于：所述活动式手柄机构包括固定于传送盒的侧壁上的基体，所述扣持件和阻挡部均设于该基体上，所述旋转盘枢接于该基体上。
6. 如权利要求1所述的传送盒，其特征在于：所述旋转盘的旋转范围为80度。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
