[实用新型]扩散片更换装置有效
| 申请号： | 200720071949.6 | 申请日： | 2007-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN201077041Y | 公开（公告）日： | 2008-06-25 |
| 发明（设计）人： | 王琨;李云锋;张伟;徐敏祺 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B25B13/48 | 分类号： | B25B13/48;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 扩散 更换 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种扩散片更换装置，包括柄杆，其特征在于：该柄杆上设置有两个与其垂直的柄头，该柄头可插入扩散片的通孔中。
2.如权利要求1所述的扩散片更换装置，其特征在于：所述的柄杆还包括两侧的柄把。
3.如权利要求1所述的扩散片更换装置，其特征在于：所述的两个柄头位于同一平面上。
4.如权利要求3所述的扩散片更换装置，其特征在于：所述的两个柄头之间的距离等于通过扩散片中心成一直线的两个通孔之间的距离。
5.如权利要求4所述的扩散片更换装置，其特征在于：其中柄头的直径小于或等于通孔的直径。
6.如权利要求1所述的扩散片更换装置，其特征在于：所述的柄杆和柄头一体成形。
7.如权利要求1至6任一项权利要求所述的扩散片更换装置，其特征在于：所述的柄杆和两个柄头的末端为圆柱状。
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