[实用新型]一种三氯氧磷的安全输送装置

权利要求书

1.一种三氯氧磷的安全输送装置，其特征在于，该输送装置包括源瓶、自动补液装置、鼓泡器、流量控制；所述的自动补液装置内设有瓶源，该瓶源通过流量控制与扩散炉内的鼓泡器连接，所述的鼓泡器与扩散炉管连接。

2.根据权利要求1所述的一种三氯氧磷的安全输送装置，其特征在于，所述的源瓶为19L不锈钢SS316L圆筒形，所述的源瓶上设有用于进气和出液的两个高纯隔膜阀，顶部设有阀门保护杆。

3.根据权利要求1所述的一种三氯氧磷的安全输送装置，其特征在于，所述的自动补液装置与扩散炉附近的鼓泡器相连，所述的补液装置设有两个钢瓶、电子秤、化学品输送面板，并是设有抽风柜体，配置泄露侦测器；底部设有110％容纳溢流，配置溢出液位探头；所述的采用两块独立面板的补液装置配置高真空隔膜泵。

4.根据权利要求3所述的一种三氯氧磷的安全输送装置，其特征在于，所述的面板为气体面板、液体控制面板。

5.根据权利要求1所述的一种三氯氧磷的安全输送装置，其特征在于，所述的鼓泡器与扩散炉管相连，鼓泡器配置液位开关、温度计套管，并被置于恒温箱内。

6.根据权利要求1所述的一种三氯氧磷的安全输送装置，其特征在于，所述的流量控制包括控制携带气体在鼓泡器上游的质量流量控制器，下游的限流孔板。

7.根据权利要求1所述的一种三氯氧磷的安全输送装置，其特征在于，所述的三氯氧磷的输送管线为PFA材质的双套管，外管为不锈钢，中间为氮气吹扫层。