[实用新型]一种具关闭不严提示功能的换向装置

权利要求书

1.一种具关闭不严提示功能的换向装置，其设置在一具有反应腔的化学气相沉积设备的反应气体进/出气管道上，所述换向装置包括一连接在进/出气管道上且用于控制反应气体进/出反应腔的换向阀，其特征在于，所述换向装置还包括串联连接在换向阀上的一气压表、一用于依据气压表的示值以及换向阀的状态判断换向阀是否关闭不严的判断模块和一用于在判断模块判断出换向阀关闭不严时启动以提示使用者的提示模块。

2.如权利要求1所述的具关闭不严提示功能的换向装置，其特征在于，所述提示模块为蜂鸣器。

3.如权利要求1所述的具关闭不严提示功能的换向装置，其特征在于，所述提示模块为黄闪灯。

4.如权利要求1所述的具关闭不严提示功能的换向装置，其特征在于，所述换向阀为具有一进气管、一出气管和一排气管的三通换向阀，所述进气管与反应气体进气管道相连，所述出气管通过反应气体进气管道连接至反应腔，所述排气管与所述气压表相连。

5.如权利要求4所述的具关闭不严提示功能的换向装置，其特征在于，所述气压表一端与排气管相连，另一端与一抽风泵相连，其中，所述抽风泵通过抽风以确保排气管的真空。

6.如权利要求1所述的具关闭不严提示功能的换向装置，其特征在于，所述换向阀为具有一进气管和一出气管的二通换向阀，所述进气管通过反应气体出气管道连接至反应腔，所述出气管与一截止阀相连，其中，所述截止阀连接在换向阀与气压表间。

7.如权利要求6所述的具关闭不严提示功能的换向装置，其特征在于，所述气压表一端与所述截止阀相连，另一端与一抽风泵相连，其中，所述抽风泵用于驱动反应腔的气体排出。