[实用新型]一种晶圆正面污染物的检测样品制备治具

权利要求书

1、一种晶圆正面污染物的检测样品制备治具，该晶圆边缘具有一预设角度范围的导角，其特征在于，该治具包括一放置晶圆的本体、一罩设在本体顶部的罩体和一设置在罩体顶部用于供制样者向晶圆正面喷洒制样溶液或水的进样喷头，该本体为第一和第二平面截一倒立椎面所得，该锥面的锥角等于晶圆的导角，该第一和第二平面与锥线所成的角分别为一直角和一预设锐角，该第一和第二平面在倒立锥面上形成了第一截圆和第二截圆，该第二截圆为直接与操作台接触的椭圆且其低于第一截圆，该晶圆的直径大于第二截圆的短轴且小于第一截圆的直径，该本体在放置晶圆且距操作台最近的位置上设置有一供溶液从晶圆边缘流出本体的开口。

2、如权利要求1所述的晶圆正面污染物的检测样品制备治具，其特征在于，该制备治具还包括用于收集从开口流出本体的溶液的收集器皿，该收集器皿放置在本体外溶液恰从开口流出的位置。

3、如权利要求1所述的晶圆正面污染物的检测样品制备治具，其特征在于，该导角的预设角度范围为20至22度。

4、如权利要求1所述的晶圆正面污染物的检测样品制备治具，其特征在于，该预设锐角为75度。

5、如权利要求1所述的晶圆正面污染物的检测样品制备治具，其特征在于，该污染物为金属污染物。

6、如权利要求1或5所述的晶圆正面污染物的检测样品制备治具，其特征在于，该制样溶液为氢氟酸、硝酸和双氧水的混合溶液。

7、如权利要求1所述的晶圆正面污染物的检测样品制备治具，其特征在于，该晶圆放置在本体中时，该晶圆正面朝上。