[实用新型]大口径钕玻璃表面疵病的激光散射检测装置

权利要求书

1. 一种大口径钕玻璃表面疵病的激光散射检测装置，其特征在于包括：

一供置放待测光学元件(9)的X-Y精密步进平台(12)；

在所述X-Y精密步进平台(12)的法线方向和待测光学元件(9)的上方，自下而上同光轴地依次设置第二平面反射镜(8)、散射光收集光阑(14)、散射光收集物镜(15)、光纤组收集器(16)，该光纤组收集器(16)位于所述的散射光收集物镜(15)的后焦面，该光纤组收集器(16)所收集的多路散射光信号经光纤组(17)引入光电探测器阵列(19)转化为多路电信号，所述的第二平面反射镜(8)与所述的法线方向呈45°；

一激光器(1)，沿该激光器(1)发出的激光束的方向同光轴地依次设置法拉第隔离器(2)、扩束透镜(3)、准直透镜(4)、聚焦透镜(5)、分光镜(6)和第一平面反射镜(7)，所述的分光镜(6)的分光面与所述的激光束成45°，所述的激光束被所述的分光镜(6)分成反射光束和透射光束，该透射光束经第一平面反射镜(7)反射后倾斜地聚焦在所述的待测光学元件(9)的平面表面上，该反射光束经第二平面反射镜(8)反射后垂直地聚焦在所述的待测光学元件(9)的平面表面上，该两照射光束在所述的待测光学元件(9)的平面表面上共焦斑；

一台计算机(17)，所述的光电探测器阵列(19)收集的散射光信号转化为多路电信号，经过整形滤波后由高速数据采集卡(20)输入该计算机(18)；该计算机(18)的控制端接驱动模块(11)，该驱动模块(11)在该计算机(18)的控制下通过步进马达(10)驱动所述的X-Y精密步进平台(12)运动。

2. 根据权利要求1所述的大口径钕玻璃表面疵病的激光散射检测装置，其特征是在所述的第一平面反射镜(7)反射后反射光束的倾斜地照射所述的待测光学元件(9)的透射方向和反射方向设有光陷阱(13)，在所述的第二平面反射镜(8)反射后的反射光束垂直地照射所述的待测光学元件(9)的透射方向亦设有光陷阱(13)。

3. 根据权利要求1所述的大口径钕玻璃表面疵病的激光散射检测装置，其特征在于所述的光纤组收集器(16)具有多个分散的散射光收集点，该多个分散的散射光收集点呈中心对称分布。

4. 根据权利要求1所述的大口径钕玻璃表面疵病的激光散射检测装置，其特征在于所述的散射光收集光阑(14)是一具有中心孔(141)的圆环，贴设在所述的散射光收集物镜(15)上，将散射光收集物镜(15)分成周围宽通道和中间窄通道。

5. 根据权利要求1所述的大口径钕玻璃表面疵病的激光散射检测装置，其特征在于所述的激光器(1)为激光二极管泵浦的倍频激光器，输出波长为λ＝532nm功率200mW的稳定激光。