[实用新型]新型三维电子散斑干涉仪

权利要求书

1.新型三维电子散斑干涉仪，其特征在于，包括一仪器本体、分布在该仪器本体正面的三个CCD成像系统和-大功率激光器及分光光路、以及与所述CCD成像系统电连接的图像处理电路；其中：所述的三个CCD成像系统呈三点式布置在仪器本体的正面，其中两个CCD成像系统平行间隔设置，另一个CCD成像系统设置在位于两个CCD成像系统的中点的上方或下方；所述的大功率激光器及分光光路布置在位于该三个CCD成像系统的中心点位置，与另一个CCD成像系统同轴线；所述的从大功率激光器及分光光路输出的光，经耦合分光成三等份，分别照射到三个CCD成像系统，与各个CCD成像系统输出的物光干涉后进入图像处理电路进行图像处理。

2.根据权利要求1所述的新型三维电子散斑干涉仪，其特征在于，还包括-载波片，在测试时设置在大功率激光器及分光光路与被测物体之间。

3.根据权利要求2所述的新型三维电子散斑干涉仪，其特征在于，所述的载波片是带有精密步进电机的载波片。

4.根据权利要求1所述的新型三维电子散斑干涉仪，其特征在于，所述的图像处理电路由计算机构成。

5.根据权利要求1所述的新型三维电子散斑干涉仪，其特征在于，所述的三个CCD成像系统呈三点式布置，其中有两个CCD成像系统设置在下方左右两边、另一个CCD成像系统设置在位于有两个CCD成像系统的中心点的上方。

6.根据权利要求1或5所述的新型三维电子散斑干涉仪，其特征在于，所述的各CCD成像系统包括-CCD、-可自动变焦成像镜、-分光方棱镜、-带有PZT的全反射镜、以及-扩束镜；所述的分光方棱镜设在中间，所述的CCD和可自动变焦成像镜分别设在分光方棱镜的两侧，所述的分光方棱镜设在扩束镜的下方，与扩束镜相对设置；所述的带有PZT的全反射镜设在分光方棱镜的上方，与分光方棱镜相对；

所述的从大功率激光器及分光光路输出的光，经耦合分光成三等份，分别照射到三个带有PZT的全反射镜上，再由带有PZT的全反射镜反射到扩束镜，并由扩束镜扩束后到分光方棱镜，再由分光方棱镜输出到CCD中，与物光干涉后进入图像处理电路。

7.根据权利要求1所述的新型三维电子散斑干涉仪，其特征在于，所述的大功率激光器及分光光路包括-大功率固体激光器、-分光棱镜、-扩束镜、-激光耦合及分光器；所述的大功率固体激光器、分光棱镜、和扩束镜顺序间隔设置在同一条光路上；所述的激光耦合及分光器与所述的分光棱镜设置在同一条光路上；所述的大功率固体激光器输出激光到分光棱镜，由分光棱镜输出两路光，一路经激光耦合及分光器输出到各CCD成像系统；另一路经扩束镜扩束到被测物体。

8.根据权利要求7所述的新型三维电子散斑干涉仪，其特征在于，还包括-载波片，在测试时设置在大功率激光器及分光光路的扩束镜与被测物体之间；从分光棱镜输出的另一路光经扩束镜扩束的光场到载波片，并最终均匀照射在被测物体上，通过该载波片产生载波条纹被CCD接收输出到图像处理电路。

9.根据权利要求8所述的新型三维电子散斑干涉仪，其特征在于，所述的载波片是带有精密步进电机的载波片。