[实用新型]活塞气缸减振机构无效
申请号: | 200720074739.2 | 申请日: | 2007-09-17 |
公开(公告)号: | CN201080989Y | 公开(公告)日: | 2008-07-02 |
发明(设计)人: | 周宏权;严天宏;袁志扬 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | F16F15/023 | 分类号: | F16F15/023;B41B17/18;G03F7/20;H01L21/027 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 200000上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 活塞 气缸 机构 | ||
1.一种活塞气缸减振机构,包括一第一气缸以及与所述第一气缸相互咬合的第一活塞,所述第一活塞可以在所述第一气缸腔体内部活动,其特征在于,所述活塞气缸减振机构还包括设置于所述第一气缸腔体内并位于第一气缸以及第一活塞之间的偏摆机构,所述偏摆机构更进一步包括一个第二气缸和一个柔性活塞长杆,所述第二气缸装配在第一活塞上或装配在第一气缸腔体内壁上,所述柔性活塞长杆一端置于第二气缸内并与第二气缸相互咬合且可在第二气缸腔体内活动,另一端与第二气缸相对应的装配在第一气缸腔体内壁上或装配在第一活塞上。
2.根据权利要求1所述的活塞气缸减振机构,其特征在于,所述柔性活塞长杆的活动端与第二气缸咬合的外侧壁上还套设一活塞长杆密封圈,以保证所述柔性活塞长杆的活动端与第二气缸的内壁紧密接触。
3.根据权利要求1所述的活塞气缸减振机构,其特征在于,所述第一活塞与第一气缸咬合的外侧壁上还套设有第一活塞密封圈,以保证所述第一活塞与第一气缸的密封性能。
4.根据权利要求1所述的活塞气缸减振机构,其特征在于,所述第一活塞更进一步包括一环状活塞以及一内活塞,所述环状活塞与内活塞之间通过一圆盘薄膜联接。
5.根据权利要求4所述的活塞气缸减振机构,其特征在于,所述内活塞的外径小于环状活塞的内径。
6.根据权利要求1所述的活塞气缸减振机构,其特征在于,所述第二气缸上还设有至少一横向气孔,用于连通所述第一气缸与第二气缸。
7.根据权利要求1所述的活塞气缸减振机构,其特征在于,所述第一活塞上还设有一活塞盖。
8.根据权利要求7所述的活塞气缸减振机构,其特征在于,所述活塞盖的中心位置还设有一活塞盖孔。
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