[实用新型]射频电感耦合等离子体发生天线

权利要求书

1.一种射频电感耦合等离子体发生天线，其特征在于：为三维螺旋线型结构，对应顶部电感耦合情况，天线(1)的内外线圈和耦合介质(2)之间的距离是变化的。

2.根据权利要求1所述的射频电感耦合等离子体发生天线，其特征在于：所述天线内外线圈(1)和耦合介质板(2)的距离变化方式为如下两种之一种：其一为由内向外天线(1)和介质板(2)的距离依次递减；其二为由内向外天线(1)和介质板(2)的距离依次递增，并根据装置实际情况调整至适当值。

3.根据权利要求1所述的射频电感耦合等离子体发生天线，其特征在于由1-6个按一定的规则排列安放在耦合介质板(2)处，在多线圈的共同作用下进一步提升所产生等离子体的均匀性。