[实用新型]一种刷子间距调节工具有效
| 申请号： | 200720075308.8 | 申请日： | 2007-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN201140189Y | 公开（公告）日： | 2008-10-29 |
| 发明（设计）人： | 陈肖科 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/04 | 分类号： | B08B7/04;B08B3/04;B08B1/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 刷子 间距 调节 工具 | ||
1、一种刷子间距调节工具，其用于调节清洗装置中两个刷子之间的间距，清洗装置可以控制两个刷子闭合和打开，晶圆置于两个刷子的中间；两个刷子均有液体流出端和液体流入端；其特征在于，刷子间距调节工具包括一个干端调节工具和一个湿端调节工具，分别用于测量两个刷子的液体流出端之间的间距和液体流入端之间的间距；其中干端调节工具和湿端调节工具均设有一个测量部，干端调节工具的测量部的宽度等于两个刷子液体流出端之间的理想间距，湿端调节工具的测量部的宽度等于两个刷子液体流入端之间的理想间距；所述液体流出端之间的理想间距是在确保两个刷子恰好接触时，两个刷子的液体流出端之间的间距；所述液体流入端之间的理想间距是在确保两个刷子恰好接触时，两个刷子的液体流入端之间的间距。
2、如权利要求1所述的一种刷子间距调节工具，其特征在于，干端调节工具包括水平设置的支撑部，便于操作人员控制的手持部，其中支撑部与测量部垂直设置，可以支撑在两个刷子之上。
3、如权利要求1所述的一种刷子间距调节工具，其特征在于，湿端调节工具包括水平设置的支撑部，便于操作人员控制的手持部，其中支撑部为与测量部垂直，可以支撑在两个刷子之上。
4、如权利要求1所述的一种刷子间距调节工具，其特征在于，干端调节工具的测量部和湿端调节工具的测量部可以是长方体结构，其分别垂直放置在两个刷子的液体流出端之间和液体流入端之间，横向宽度对应等于两个刷子液体流出端之间的理想间距和液体流入端之间的理想间距。
5、如权利要求1所述的一种刷子间距调节工具，其特征在于，干端调节工具的测量部和湿端调节工具的测量部可以是圆柱体结构，其分别垂直放置在两个刷子的液体流出端之间和液体流入端之间，横向直径对应等于两个刷子液体流出端之间的理想间距和液体流入端之间的理想间距。
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