[实用新型]高精度快速调平机构

权利要求书

1、一种高精度快速调平机构，包括调平台(1)、安装底座(6)，以及均匀分布并设置于所述调平台(1)与所述安装底座(6)之间的三组平行簧片(2)、在线位置测量传感器组件(3)、偏心轮/凸轮组件(4)、预紧拉簧(5)和执行轮组件(7)，其特征在于，所述每一组平行簧片(2)的一端与安装底座(6)的边缘刚性连接，另一端与调平台(1)的边缘刚性连接，且平行簧片(2)上具有一通孔；所述每一组在线位置测量传感器组件(3)对应设置于平行簧片(2)的内侧，其底部与安装底座(6)刚性连接，顶部穿过平行簧片(2)上的通孔与调平台(1)刚性连接；相邻两组在线位置测量传感器组件(3)之间设有相互啮合的一组偏心轮/凸轮组件(4)和执行轮组件(7)，该偏心轮/凸轮组件(4)的上端与调平台(1)刚性连接，该执行轮组件(7)的下端与安装底座(6)刚性连接，并通过所述预紧拉簧(5)与偏心轮/凸轮组件(4)进行预紧并且通过与偏心轮/凸轮组件(4)相互的摩擦力实现传动，且所述三组平行簧片(2)、在线位置测量传感器组件(3)、偏心轮/凸轮组件(4)、以及执行轮组件(7)之间以120°夹角均匀分布设置。

2、根据权利要求1所述的高精度快速调平机构，其特征在于，所述在线位置测量传感器组件(3)更进一步包括在线位置测量传感器(3a)以及传感器安装支架(3b)，其中，所述在线位置测量传感器(3a)通过所述传感器安装支架(3b)分别与所述调平台(1)以及所述安装底座(6)机械刚性相连接。

3、根据权利要求1所述的高精度快速调平机构，其特征在于，所述偏心轮/凸轮组件(4)更进一步包括偏心轮/凸轮安装支架(4a)、偏心轮/凸轮(4b)以及安装轴(4c)，所述偏心轮/凸轮(4b)通过安装轴(4c)安装在偏心轮/凸轮安装支架(4a)上，所述偏心轮/凸轮组件支架(4a)与所述调平台(1)机械刚性连接。

4、根据权利要求1所述的高精度快速调平机构，其特征在于，所述执行轮组件(7)更进一步包括执行轮(7a)、执行轮安装支架(7b)以及无隙连轴器(7c)，其中，所述执行轮(7a)通过无隙连轴器(7c)安装在执行轮安装支架(7b)上，所述执行轮支架(7b)与所述安装底座(6)机械刚性连接。

5、根据权利要求4所述的高精度快速调平机构，其特征在于，所述高精度快速调平机构还包括多个驱动马达(8)，用于驱动所述执行轮(7a)。

6、根据权利要求1所述的高精度快速调平机构，其特征在于，所述每一组偏心轮/凸轮组件(4)和执行轮组件(7)通过设置于其左右两侧的两组预紧拉簧(5)进行预紧。