[实用新型]靶面焦斑监测装置

权利要求书

1一种用于激光打靶的靶面焦斑监测装置，其特征在于包括：

平行激光束发射光路，包括激光光源(1)及沿该激光光源(1)的出射光方向依次的反射镜(4)、聚焦镜(5)、分光棱镜(6)和主物镜(7)构成，所述的聚焦镜(5)的焦点位于主物镜(7)的焦面上；

靶面成像光路，由依次的主物镜(7)、分光棱镜(6)、由初级显微物镜(9)和次级变倍显微物镜(10)组成，所述的主物镜(7)的焦点位于初级显微物镜(9)的物面上，初级显微物镜(9)的像平面与次级变倍显微物镜(10)的物面重合；

所述的平行激光束发射光路与靶面成像光路通过所述的分光棱镜(6)实现共光路；

光轴对接系统(8)，由第一反射镜(801)和第二反射镜(802)组成，所述的第一反射镜(801)和第二反射镜(802)都具有沿光轴移动、作俯仰与旋转运动的调节机构；

图像接收系统，包括CCD摄像机(11)和监视器(12)，所述的CCD摄像机(11)位于所述的次级变倍显微物镜(10)的像平面，所述的CCD摄像机(11)的输出与所述的监视器(12)相连。

2、根据权利要求1所述的靶面焦斑监测装置，其特征在于所述的主物镜(7)是一扩束准直透镜，其扩束后的通光口径等于待监测的激光打靶光束的口径。