[实用新型]多晶硅氢还原炉测温视镜结构

权利要求书

1、多晶硅氢还原炉测温视镜结构，包括视镜玻璃(14)和通入还原炉内壁的内空式镜筒(10)，视镜玻璃(14)安装在位于还原炉炉壁之外的镜筒(10)上，镜筒(10)的筒壁在靠近视镜玻璃(14)的位置设有水冷结构(17)，其特征在于：所述视镜玻璃(14)为单层玻璃结构，视镜玻璃(14)内表面侧的镜筒(10)的筒壁上设有两端分别与镜筒(10)外的进气管(11)和镜筒(10)的内通道(15)相通的气体通道(13)。

2、根据权利要求1所述的多晶硅氢还原炉测温视镜结构，其特征在于：在镜筒(10)的中部的筒壁或位于还原炉内的镜筒(10)的筒壁上，也设有至少一个两端分别与镜筒(10)外的进气管(11)和镜筒(10)的内通道(15)相通的气体通道(13)。

3、根据权利要求1或2所述的多晶硅氢还原炉测温视镜结构，其特征在于：气体通道(13)包括至少一个直通道，或至少一个直通道和环形通道。

4、根据权利要求1活所述的多晶硅氢还原炉测温视镜结构，其特征在于：气体通道(13)包括至少一个斜通道，或至少一个斜通道和环形通道。

5、根据权利要求1所述的多晶硅氢还原炉测温视镜结构，其特征在于：所述水冷结构(17)为环形水冷结构或螺旋水冷结构。