[实用新型]一种基于光纤干涉原理的纳米测量机测头

权利要求书

1.一种基于光纤干涉原理的纳米测量机测头，包括压电扫描管、探针夹持器、悬臂梁探针、由分束镜和光纤构成的斐索干涉仪及后续处理电路，其特征在于，探针夹持器固定在压电扫描管的底端，其上设置有弹簧夹、凹槽、螺纹孔和窗口，探针置于凹槽内，弹簧夹的一端通过螺纹孔固定在探针夹持器上，另一端夹持探针，分束镜固定在窗口上，光纤、分束镜、探针表面依次设在在一条光路，激光光源发射的激光经过光纤传输、打在分束镜后，分为反射光束和透射光束，透射光束打在微悬臂梁背面的反射表面上后反射的光束经过分束镜后与先前的反射光束相干涉，干涉信号经过光纤输出，经光电二极管转换后进入后续处理电路。