[实用新型]晶圆凸点制造挂具有效
| 申请号： | 200720102413.6 | 申请日： | 2007-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN201116311Y | 公开（公告）日： | 2008-09-17 |
| 发明（设计）人： | 欧萌;景璀;张蕾;魏红军;杨振 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第二研究所 |
| 主分类号： | C25D7/12 | 分类号： | C25D7/12;C25D17/08 |
| 代理公司： | 山西科贝律师事务所 | 代理人： | 陈奇 |
| 地址： | 030024山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶圆凸点 制造 | ||
【权利要求书】：
1、一种晶圆凸点制造挂具，包括挂具主体板(10)、在主体板(10)的上方固定设置的把手(14)及把手上方的固定块(13)，其特征在于，在所述的主体板(10)和把手(14)上固定设置有导电板(12)，在挂具主体板(10)的前面板的中部固定设置有一圆形导电盘(8)，导电板(12)与导电盘(8)固定连接，在导电盘周围的主体板(10)上嵌套有金属罗纹套(9)，法兰(2)通过紧固塑料螺钉(1)和金属罗纹套(9)将晶圆片固定在挂具主体板(10)上的导电盘(8)上，在法兰(2)的外圈与主体板(10)之间设置有密封圈(3)，在法兰(2)的内圈与导电盘(8)之间设置有密封圈(4)。
2、根据权利要求1所述的一种晶圆凸点制造挂具，其特征在于，所述的导电盘(8)上设置有晶圆平面定位台阶。
3、根据权利要求1或2所述的一种晶圆凸点制造挂具，其特征在于，所述的导电盘(8)上设置有导电弹片(6)，该导电弹片(6)的一端由螺钉(5)固定在导电盘(8)上，另一端弹性压紧在晶圆片上。
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