[实用新型]一种碳化硅外延生长用加热器旋转装置

权利要求书

1.一种碳化硅外延生长用加热器旋转装置，其特征在于，其包含有：

一中央转动装置，该中央转动装置包括：

一石墨托盘，该石墨托盘为一盘状；

一石墨支撑杆，该石墨支撑杆支撑于石墨托盘；

一传动轴杆，该传动轴杆的上端与石墨支撑杆螺纹连接；

一支撑管，该支撑管为中空状；

一支撑件，该支撑件的上端与支撑管连接；

一支撑座，该支撑座与支撑件连接；

一联轴器，联轴器的上端与传动轴杆插接连接；

一中心调节器，该中心调节器为一筒状，两端具有法兰；

一三通排气管，该三通排气管位于中央转动装置上的支撑座上，该中央转动装置穿过该三通排气管的两端，该三通排气管通过法兰与中心调节器连接；

一石英管反应生长室，该石英管反应生长室罩扣于中央转动装置，并与三通排气管固定；

一磁力旋转装置，该磁力旋转装置位于中心调节器的下方，通过传动轴与中央转动装置的联轴器连接。

2.如权利要求1所述的一种碳化硅外延生长用加热器旋转装置，其特征在于，其中所述的石墨托盘底面中央有圆梯形凹槽。

3.如权利要求1所述的一种碳化硅外延生长用加热器旋转装置，其特征在于，其中所述的石墨杆上有圆梯形凸台，通过圆梯形凸台和石墨托盘底面上的中央圆梯形凹槽连接在一起。

4.如权利要求1所述的一种碳化硅外延生长用加热器旋转装置，其特征在于，其中所述传动轴杆，由金属材料制成，熔点大于1800度。

5.如权利要求1所述的一种碳化硅外延生长用加热器旋转装置，其特征在于，其中所述支撑管由金属材料制成，两端各内置一个无油轴承，下端外侧有螺纹。

6.如权利要求1所述的一种碳化硅外延生长用加热器旋转装置，其特征在于，其中所述中心调节器包括：一波纹管，上下法兰，该上下法兰分别与波纹管的上下端连接，该上下法兰的外圆处有三个调节耳环，三个支柱分别螺接于该上下法兰的外圆上的三个调节波纹管厚度的调节耳环。

7.如权利要求1所述的一种碳化硅外延生长用加热器旋转装置，其特征在于，其中所述传动机构，是一真空磁力传动机构。