[实用新型]一种ZnO基发光二极管无效
申请号: | 200720111809.7 | 申请日: | 2007-07-13 |
公开(公告)号: | CN201084747Y | 公开(公告)日: | 2008-07-09 |
发明(设计)人: | 叶志镇;曾昱嘉;卢洋藩;徐伟中 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人: | 韩介梅 |
地址: | 310027浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 zno 发光二极管 | ||
1.一种ZnO基发光二极管,其特征是以ZnO为基,在衬底(1)的一面自下而上依次沉积有n-ZnO薄膜层(2)、n-Zn1-xMgxO薄膜层(3)、0<x<0.6,ZnO量子阱层(4)、p-Zn1-xMgxO薄膜层(5)、0<x<0.6,p-ZnO薄膜层(6)和第二电极(8),在衬底(1)的另一面沉积有第一电极(7),其中ZnO量子阱层由z个周期的ZnO/Zn1-yMgyO量子阱层构成,0<y<0.5,z值为5~10。
2.根据权利要求1所述的ZnO基发光二极管,其特征是衬底为硅、氧化锌或氮化镓。
3.根据权利要求1所述的ZnO基发光二极管,其特征是第一电极(7)为Ti/Au合金,第二电极(8)为Ni/Au合金。
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