[实用新型]一种基于电容测量原理的平面电容传感器

权利要求书

1.一种基于电容测量原理的平面电容传感器，其特征在于：它包括平面电容上极板(1)与平面电容下极板(2)，平面电容下极板(2)设有边长为a的正方形电容极板(3)，且两两相邻的正方形电容极板(3)间距为正方形边长，平面电容上极板(1)设有与下极板的电容极板形状相同的四块X向电容极板(4、4’与5、5’)，以及四块Y向电容极板(6、6’与7、7’)，X向电容极板包括一组第一、第二测量极板(4、4’)和另一组第三、第四测量极板(5、5’)，且两组间在X向上相位差为90度，间距为1.5a，每组电容极板间的边线对齐，在Y方向上的间距为2a，一组与另一组边线对齐；Y向电容极板包括一组第五、第六测量极板(6、6’)和另一组第七、第八测量极板(7、7’)，且两组间在Y向上相位差为90度，间距为1.5a，每组电容极板间的边线对齐，在X方向上的间距为2a，一组与另一组边线对齐。

2.根据权利要求1所述的一种基于电容测量原理的平面电容传感器，其特征在于：所述的电容极板为表面覆盖有金属层的极板。