[实用新型]用于集成电路测试的装置

权利要求书

1.一种用于集成电路测试的装置，包括压紧部件(1)、探针定位板(2)和探针，该探针定位板(2)上有与被测集成电路(4)各导电点之间脚距相同的通孔，各探针穿越所述探针定位板(2)上的通孔；其特征在于：

所述探针为螺圈弹簧(3)，所述各弹簧(3)的上端与被测集成电路(4)电连接，下端与测试印刷电路板(5)电连接。

2.根据权利要求1所述的用于集成电路测试的装置，其特征在于：所述弹簧(3)包括拉伸段(31)和未拉伸段(32)，所述拉伸段(31)端部与被测集成电路(4)电连接，未拉伸段(32)端部与测试印刷电路板(5)电连接。

3.根据权利要求1所述的用于集成电路测试的装置，其特征在于：所述弹簧(3)中部为拉伸段(31)，两端为未拉伸段(32)。

4.根据权利要求2或3所述的用于集成电路测试的装置，其特征在于：所述未拉伸段(32)的直径小于拉伸段(31)的直径，即在未拉伸段(32)和拉伸段(31)的交界处有台阶(33)。

5.根据权利要求2或3所述的用于集成电路测试的装置，其特征在于：所述未拉伸段(32)的靠近端部段的直径小于其余部分的直径，即在未拉伸段(32)的靠近端部处有台阶(34)。

6.一种用于集成电路测试的装置，包括压紧部件(1)、探针定位板(2)和探针，该探针定位板(2)上有与被测集成电路(4)各导电点之间脚距相同的通孔，所述各探针穿越所述探针定位板(2)上的通孔；其特征在于：

所述各探针包括触针(6)和螺圈弹簧(3)，所述触针(6)一端设置有头形，与被测集成电路(4)或者测试印刷电路板(5)电连接，该触针(6)的另一端与弹簧(3)一端接触；相应地，所述弹簧(3)另一端与测试印刷电路板(5)或者被测集成电路(4)电连接。

7.根据权利要求6所述的用于集成电路测试的装置，其特征在于：所述触针(6)上有台阶(61)。

8.根据权利要求7所述的用于集成电路测试的装置，其特征在于：所述弹簧(3)包括拉伸段(31)和未拉伸段(32)，所述拉伸段(31)端部与触针(6)接触，未拉伸段(32)端部与测试印刷电路板(5)或被测集成电路(4)电连接。

9.根据权利要求8所述的用于集成电路测试的装置，其特征在于：所述未拉伸段(32)的直径小于拉伸段(31)的直径，即在未拉伸段(32)和拉伸段(31)的交界处有台阶(33)。

10.根据权利要求8所述的用于集成电路测试的装置，其特征在于：所述未拉伸段(32)的靠近端部段的直径小于其余部分的直径，即在未拉伸段(32)得靠近端部处有台阶(34)。