[实用新型]非晶硅沉积炉中的导热油加热装置

权利要求书

1.一种非晶硅沉积炉中的导热油加热装置，包括真空室腔体外壁，保温层，加热层，该加热层位于真空室腔体外壁上，其特征在于还包括由充有导热油的导热油腔体形成的加热层，该加热层设置在所述的真空室外壁和保温层内壁之间，该导热油腔体外壁面与真空室腔体外壁面之间形成导热良好的贴合面，该导热油腔体具有多个进油口和出油口，且每个进油口和出油口与导热油腔体端部结合部为液密封。

2.根据权利要求1所述的非晶硅沉积炉中的导热油加热装置，其特征在于所述的加热层为分离式导热油腔体。

3.根据权利要求1所述的非晶硅沉积炉中的导热油加热装置，其特征在于所述的真空室腔体外壁形状为矩形，所述的导热油腔体形状为矩形，该导热油腔体位于真空室腔体外壁两侧。

4.根据权利要求3所述的非晶硅沉积炉中的导热油加热装置，其特征在于所述的真空室腔体壁厚40-60mm，在两侧真空室腔体壁内设置多个贯通导热油腔，每侧的多个导热油腔接口串联连接。

5.根据权利要求3所述的非晶硅沉积炉中的导热油加热装置，其特征在于所述的导热油腔体为分离式矩形腔体。

6.根据权利要求1所述的非晶硅沉积炉中的导热油加热装置，其特征在于所述的多个进油口均匀设置在导热油腔体的一端部，且所述的多个出油口均匀设置在导热油腔体的另一端部。

7.根据权利要求1所述的非晶硅沉积炉中的导热油加热装置，其特征在于所述的多个进油口或出油口接头串联连接。