[实用新型]光掩模充气柜结构

权利要求书

1、 一种光掩模充气柜结构，其用于容置光掩模的移载容器，其特征在于该充气柜包含有：

一柜体，其具有一供摆置移载容器的容置空间，该柜体的容置空间可选择性启闭；

至少一循环单元，其设于前述柜体的容置空间内，各循环单元供对应一移载容器，循环单元具有至少一对应连通移载容器内部与光掩模相邻环境的充气元件，且循环单元具有至少一对应连通移载容器内部与光掩模相邻环境的排气元件，使得移载容器内部气体通过循环单元产生循环流动。

2、 根据权利要求1所述的光掩模充气柜结构，其特征在于其中所述的柜体由一利用多个纵、横杆组成的框架所构成，框架外围周面设有封闭形成容置空间的侧板，再者柜体于框架异于侧板开口设有至少一可选择性启闭的门板，供移载容器进、出该柜体。

3、 根据权利要求1所述的光掩模充气柜结构，其特征在于其中所述的柜体于底部设有多个移动滚轮，便于移动该光掩模充气柜的柜体，且柜体底部并具有多个可调式的定位元件，让柜体稳固的定位于固定位置。

4、 根据权利要求1或2或3所述的光掩模充气柜结构，其特征在于其中所述的柜体内设有多层供摆置移载容器的承载隔板，各层承载隔板上具有网孔，以防止微粒沉积于承载隔板表面。

5、 根据权利要求1所述的光掩模充气柜结构，其特征在于其中所述的循环单元上设有至少一检知元件，供感应移载容器是否定位置设于柜体内。

6、 根据权利要求1所述的光掩模充气柜结构，其特征在于其中所述的循环单元具有一无线射频识别系统的读取元件，而移载容器内设有对应的储存元件，使得该读取元件供传输与读取移载容器内光掩模的相关资讯。

7、 根据权利要求1所述的光掩模充气柜结构，其特征在于其中所述的移转容器具有一容置光掩模、且可选择性启闭的容置空间，该移转容器上设有至少一连通容置空间与充气元件的进气元件，移转容器上另设有至少一连通容置空间与排气元件的出气元件，其中进、出气元件具有防止移转容器闭合时气体溢出的选择性气密功能。

8、 根据权利要求1或7所述的光掩模充气柜结构，其特征在于其中所述的循环单元的充、排气元件分别具有一管体、一活动件、一复位弹簧及一活塞垫圈，管体内部中段形成有一供气体流经的中空隔片，又活动件两端分别形成有一较大径的抵顶端与一较小径的闭合端，使活动件可以闭合端穿套前述复位弹簧后、穿经隔片，并利用前述的活塞垫圈嵌套于该闭合端上，使活动件可于管体内受复位弹簧提供的弹性偏压力产生浮动，供利用活动件的活塞垫圈相对远离或靠近管体隔片，供阻隔气体或使气体连通，再者充、排气元件的活动件具有一对应作动移载容器进、出气元件的抵顶凸柱。

9、 根据权利要求8所述的光掩模充气柜结构，其特征在于其中所述的移转容器的进、出气元件分别具有一管体、一活动件、一复位弹簧及一活塞垫圈，管体内部中段形成有一供气体流经的中空隔片，又活动件两端分别形成有一较大径的抵顶端与一较小径的闭合端，使活动件可以闭合端穿套前述复位弹簧后、穿经隔片，并利用前述的活塞垫圈嵌套于该闭合端上，使活动件可于管体内受复位弹簧提供的弹性偏压力产生浮动，供利用活动件的活塞垫圈相对远离或靠近管体隔片，供阻隔气体或使气体连通。