[实用新型]晶片分选搬运机构装置无效
申请号: | 200720130899.4 | 申请日: | 2007-12-12 |
公开(公告)号: | CN201185186Y | 公开(公告)日: | 2009-01-21 |
发明(设计)人: | 钟丹秋;徐华军;谢金才;孙迎春 | 申请(专利权)人: | 南京熊猫仪器仪表有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 南京天翼专利代理有限责任公司 | 代理人: | 汤志武 |
地址: | 210002江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶片 分选 搬运 机构 装置 | ||
一、技术领域
本实用新型涉及一种对晶片分选的搬运机构装置,尤其是smd薄型和超小型晶片的分选搬运装置。
二、背景技术
随着通讯设备、手机、电脑、家电及网络等应用电子产品市场的飞速发展,石英晶体元器件的市场需求日益增长,SMD薄型和超小型晶片的厚度甚至在0.1毫米以下,长与宽最小尺寸是1-2毫米,无法采用传统的测量方法进行分选。
本申请人已经申请过对晶片自动测量的系统,例如中国专利CN00240759.0石英晶片自动定位测频分选装置、CN03278891.6片式压电陶瓷及相关器件自动定位测试装置。现有的晶片分选设备采用动态的晶片转移方式:经过螺旋送料器将零散的晶片排列后送到直线送料器,通过振荡器等测量装置进行测量。得到的信号经过计数器后送到计算机内处理。计算机根据计数的结果处理后,通过显示器显示结果并控制下料部分,将晶片送入设定的料盒内。这种动态转移容易造成晶片的叠片、冲片现象,无法对晶片,尤其是smd薄型和超小型晶片进行准确的测量,从而造成整个系统的测试质量不能保证,工作效率低下。因此针对smd薄型和超小型晶片的搬运需要专用的分选搬运装置。
三、发明内容
本实用新型目的是:提出一种smd薄型和超小型晶片的分选测试过程中专用的搬运装置,从属于smd薄型和超小型晶片的自动测试分选装置,实现晶片的准确、快速、可靠的自动运送,满足后道工序的要求,提高整个设备的测试精度。
本实用新型的技术方案是:晶片分选搬运机构装置,由机械手、步进电机、同步轮、机械手臂、高精度滑块、第一连接块(连接块A)、第二连接块(连接块B)、直线轴承、连接支架、外侧板、负压吸头构成,步进电机驱动同步轮,机械手臂装在同步轮轴上,机械手臂轴承固定在连接块A上,连接块A与高精度滑块的前端和固定机械手的连接支架相连,连接块A在高精度滑块的坚直轨道上滑动,高精度滑块的后端固定在连接块B上,连接块B在直线轴承上滑动,直线轴承固定在外侧板上。步进电机驱动同步轮,机械手臂装在同步轮轴上的机械手臂绕轴180度转动,带动高精度滑块上下运动、连接块B在直线轴承上左右运动,同时机械手就相应地做180度的圆弧运动吸取或放下晶片。
所述机械手是吸合晶片的负压吸头,然后通过分度盘转移晶片至相应工位进行各种参数的测量。所述机械手绕轴做180度的圆弧运动,执行将0度位置的晶片搬运至180度位置。机械手圆弧运动的起始角度由两个光电传感器控制。机械手到达0度位置时,光电传感器控制其停止运动,吸取晶片;机械手到达180度位置时,光电传感器控制其停止运动,放下晶片。
本实用新型机构是用于测量前的晶片搬运结构功能装置,即将上道工序传送的晶片通过机械手准确、可靠、安全地转移到下道工序的分度盘上,分度盘带晶片移位至测量工位进行测量。本实用新型机构可以方便完成此工序。
本实用新型的有益效果是:本装置机械传动精度高,定位准确,工作可靠,且结构简单,调节方便,是整个分选工作流程的一个有机环节。采用机械手搬运,避免晶片传送中的冲片、双片现象,保证了晶片的单片测试,从而增强整机工作的稳定性、可靠性。
四、附图说明
图1是本实用新型后面结构示意图、
图2是本实用新型前面结构示意图
1、步进电机,2、同步轮A,3、同步皮带,4、同步轮B,5、张紧轮,6、吸头连接支架,7、吸头,8、机械手臂,9、直线轴承,10、滑块,11、光电传感器,12、外侧板,13、底座,14、连接块A即第一连接块,15、连接块B即第二连接块。
五、具体实施方式
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造