[实用新型]过滤器的排泡装置

说明书

技术领域

本实用新型有关一种过滤器排泡装置，特别是一种独立于生产机台的排泡装置。

背景技术

现有的半导体药液的过滤装置大多内建于生产机台内，如光刻胶涂布机、显影机及湿式蚀刻机等，若需更换过滤装置的过滤器必须停机更换新的过滤器后，再经过预湿(pre-wet)程序将过滤器内的气泡排除，而此预湿程序通常需花费数小时的时间，才能将过滤器内的气泡完全排出。若过滤器内的气泡没有完全排出则气泡中的污染物(contaminations)会经由管路附着在产品上而影响产品良率。图1所示为现有的排泡系统架构示意图，说明过滤装置具有药液槽100、泵(Pump)200、控制单元300、阀门(valve)400、阀门500及阀门600所组成。一般而言，过滤装置更换新的过滤器700后，控制单元300是利用控制线302将泵200开启，此时泵200所产生的真空吸力会将药液槽100内的药液150，经由管路1A送入过滤器700的进口端702(Inlet)；当药液150与过滤器700内的过滤膜片(图中未示)接触通常会有斥水性(hydrophobic)的现象，致使药液150无法完全流入过滤膜片，形成过滤膜片两端压力差造成气泡产生，因此过滤器700需经过长时间的清洗(purge)，使药液150与过滤器700内的过滤膜片转变为亲水性(hydrophilic)。通常为了防止大量的气泡聚集于过滤器700内，阀门400通常会开启而气泡会经由管路1C而由过滤器700的排气端704端排出以避免气塞产生，待过滤器700内的气泡排出后阀门400便关闭；接着，阀门500及600会开启而药液150便由1A进入过滤器700的进口端702流入过滤器700内，当药液150过滤完后再由过滤器700的出口端(outlet)706通过管路1B到达生产机台的使用端800。

上述的过滤装置不但需要停止生产机台的运作达四至八小时以上的时间进行排泡及清洗过滤器的动作而造成产能的损失，操作人员还需花费更多时间恢复生产，浪费许多人力及物力，因此如何克服上述问题是目前业界所急迫需要的。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型目的之一是利用独立于生产机台的排泡装置，使生产机台不致因进行过滤器排泡动作而停止生产机台的运作。

本实用新型的另一目的是利用独立于生产机台的排泡装置，于进行过滤器排泡动作时可以循环使用药液减少药液的使用量。

本实用新型的又一目的是利用独立于生产机台的排泡装置，具有控制单元进行全自动排泡程序。

为了达到上述目的，本实用新型提供一种过滤器的排泡装置，其包含药液槽，其是连接过滤器的进口端并用以容置药液；多个阀门，其包含第一阀门、第二阀门、第三阀门及第四阀门，分别连接过滤器的出口端、过滤器的排气端、药液槽的一端及过滤器的进口端；及至少一控制器，其是电性连接于泵及多个阀门用以控制泵及多个阀门开启或关闭且控制泵抽取药液及排出药液的方向；其中过滤器的出口端或过滤器的进口端设置并连接至少一泵至药液槽，用以循环药液于排泡装置。

附图说明

图1所示为现有的排泡系统架构示意图。

图2所示为依据本实用新型一实施例的过滤器排泡装置的示意图。

图3所示为依据本实用新型另一实施例的过滤器排泡装置的示意图。

具体实施方式

图2所示为本实用新型的一实施例过滤器排泡装置的示意图。于本实施例中，其过滤器排泡装置包括药液槽10、控制器30、泵40、第一阀门A、第二阀门B、第三阀门C及第四阀门D。过滤器50的进口端(inlet)52经由管路102连接药液槽10，而过滤器50的出口端(outlet)54经由管路104连接至少一泵40；过滤器50的出口端54与泵40之间设置第一阀门A，管路106一端连接泵40，而管路106的另一端连接药液槽10，此外，管路106、102分别设置第三阀门C及第四阀门D；过滤器50的排气端(vent)56是以管路112连接至泵40与第一阀门A之间(管路104)，另于管路112设置第二阀门B，另外，至少一控制器30利用控制线31、32、33、34、35分别电性连接泵40、第一阀门A、第二阀门B、第三阀门C及第四阀门D。即构成本实用新型的过滤器的排泡装置。