[实用新型]溅镀机的防着板结构

说明书

技术领域

本实用新型提供一种溅镀机部件，尤指一种溅镀机的防着板结构。

背景技术

参阅图1所示，为习用溅镀机的剖面示意图，溅镀机的结构主要包含有：

一溅镀源10，该溅镀源10以离子溅射原理，先利用电场使两极间产生电子，这些加速电子会与真空腔中己预先充入的惰性气体碰撞，使其带正电，这些带正电的粒子会受阴极(靶材)吸引而撞击阴极，入射离子受到电场作用获得动量，撞击靶材表面的原子，这些原子受到正电离子的碰撞得到入射离子的动量转移，被撞击的靶材表面原子因接受入射离子的动量，对靶材表面下原子造成压挤使其发生移位，此靶材表面下多层原子的挤压，会产生垂直靶材表面的作用力而把表面原子碰撞出去，这些被碰撞出去的原子，最后终于沉积在被镀物15上完成溅镀；

一防着板结构11，该防着板结构11设于导轨结构12两侧，防着板结构11防止原子沉积于置物板14以外的机台其他位置；

一导轨结构12，该导轨结构12设于输送带结构13的两侧，以导引置物板14移动方向；

一输送带结构13，该输送带结构13输送置物板14经过溅镀源10；

数置物板14，提供被镀物15放置；

通过上述组成，被镀物15置于置物板14，再将置物板14置于输送带结构13，经导轨结构12导引，而经过溅镀源10完成溅镀。

惟，其上述习用的溅镀机，仍存在有下列缺失：

1.溅镀源10的溅镀过程会有原子沉积在溅镀区四周，所以防着板结构11与导轨结构12，均须在使用一段时间后，将之拆卸以利进行沉积物的清除，但每多一防着板或导轨，就增加一拆及装防着板或导轨的时间，同时也浪费了人力。

2.习用的溅镀机，其防着板与导轨分开制作与锁固，所以防着板与导轨的强度也较差。

因此，针对上述习知结构所存在的问题点，如何开发一种更具理想实用性的创新结构，实消费者所殷切企盼，亦系相关业者须努力研发突破的目标及方向。

有鉴于此，创作人本于多年从事相关产品的制造开发与设计经验，针对上述的目标，详加设计与审慎评估后，终得一确具实用性的本实用新型。

发明内容

本实用新型目的在于，提供一种溅镀机的防着板结构，以克服上述传统结构的缺陷，达到减少组、拆次数，节省人力，同时提高防着板结构强度的效果。

解决问题的技术特点：一种溅镀机的防着板结构，该溅镀机包含有一向输送带结构及置物板方向溅镀的溅镀源、一输送带结构、数置物板及一由防着板构成的防着板结构，输送带上置放有置物板，而置物板上置放被镀物，所述防着板结构位于输送带结构两侧；其特征在于：

该防着板结构的防着板一体成型有导轨。

其中，该防着板结构包括二块以上的防着板，每一防着板均一体成型有导轨。

对照先前技术的功效：

一、习用溅镀机的防着板结构与导轨结构系分别制作，再分别锁设固定至溅镀机，待使用过后须要清洁时，也须要分别将防着板结构与导轨结构拆下来清洁，再将清洁好的防着板结构与导轨结构分别锁回溅镀机，操作上每增一构件就要增加二倍的工作量，时间、人力也较浪费，而本实用新型的防着板一体成型有导轨，所以拆、装次数得以减少，人力也较节省。

二、习用溅镀机的防着板结构与导轨结构分别制作，所以防着板结构的强度较差，本实用新型的防着板与导轨一体成型制成，所以强度较强。

有关本实用新型所采用的技术、手段及其功效，兹举一较佳实施例并配合图式详细说明于后，相信本实用新型上述的目的、构造及特征，当可由之得一深入而具体的了解。

附图说明

图1：是习用溅镀机的剖面示意图。

图2：是本实用新型的其一实施例溅镀机的剖面示意图。

图3：是本实用新型的其一实施例溅镀机平面示意图。

图4：是本实用新型的其一实施例测镀机流程示意图。

具体实施方式

参阅图2所示，本实用新型提供一种溅镀机的防着板结构，其一实施例包括：