[实用新型]用于晶圆电镀的阳极室以及阳极装置有效
| 申请号： | 200720144365.7 | 申请日： | 2007-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN201136908Y | 公开（公告）日： | 2008-10-22 |
| 发明（设计）人： | 陈勇志;夏凡 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C25D7/12 | 分类号： | C25D7/12;C25D17/00;H01L21/288;H01L21/445 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李丽 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 电镀 阳极 以及 装置 | ||
1.一种阳极室，顶部设置有若干第一连接孔，其特征在于，所述阳极室外周壁设置有若干与第一连接孔一一对应的侧孔，所述侧孔与第一连接孔连通。
2.根据权利要求1所述的阳极室，其特征在于，所述侧孔的深度大于第一连接孔的侧壁与阳极室外周壁的间距。
3.根据权利要求1所述的阳极室，其特征在于，所述侧孔的深度小于侧壁的厚度。
4.根据权利要求1所述的阳极室，其特征在于，所述侧孔为规则的圆形或者椭圆形或者四边形。
5.根据权利要求1所述的阳极室，其特征在于，所述第一连接孔的内侧壁设置有螺纹。
6.一种阳极装置，其特征在于，包括：
阳极室，顶部设置有若干第一连接孔，外周壁设置有若干与第一连接孔一一对应的侧孔，所述侧孔与第一连接孔连通；
扩散器，设置有若干与阳极室的第一连接孔一一对应的通孔；
设置在侧孔内的第一连接件，所述第一连接件上设置有第二连接孔；
第二连接件，所述第二连接件填充通孔、第一连接孔和第二连接孔。
7.根据权利要求6所述的阳极装置，其特征在于，所述第一连接件为金属钛。
8.根据权利要求6所述的阳极装置，其特征在于，所述第二连接件为螺丝。
9.根据权利要求8所述的阳极装置，其特征在于，所述通孔、第一连接孔和第二连接孔内侧壁设置有与所述螺丝匹配的螺纹。
10.根据权利要求6所述的阳极装置，其特征在于，所述侧孔的深度大于第一连接孔的侧壁与阳极室外周壁的间距。
11.根据权利要求6所述的阳极室，其特征在于，所述侧孔的深度小于侧壁的厚度。
12.根据权利要求6所述的阳极装置，其特征在于，所述侧孔为规则的圆形或者椭圆形或者四边形的形状。
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