[实用新型]一种物理气相沉积装置以及与其相关的防护套件

权利要求书

1.一种物理气相沉积装置，其特征在于，包含：

在下降位置和提升位置之间可移动的阴影框架；

至少部分覆在所述阴影框架之上的顶护板；以及

与所述顶护板耦接的冷却歧管，其中所述冷却歧管控制所述顶护板的所述 温度。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述顶护板和所述冷却歧 管是一整体。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述冷却歧管是水冷却的。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括：

与所述装置耦接的歧管架，其中所述冷却歧管与所述歧管架耦接；以及

与所述冷却歧管耦接的下护板，其中当所述阴影框架在下降位置时所述阴 影框架设置在所述下护板上。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，还包括：

在所述歧管架和所述冷却歧管之间耦接的冷却管道。

6.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，在所述冷却歧管和所述顶 护板之间耦接所述下护板。

7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括：

在所述冷却歧管内的冷却管道。

8.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述顶护板的材料包括铝 或不锈钢。

9.一种物理气相沉积装置，其特征在于，包括：

腔室；

基座，其设置在所述腔室中并在提升位置和下降位置之间可移动；

阴影框架，当所述基座在提升位置时设置所述阴影框架以隔离所述基座的 外围，所述阴影框架在提升位置和下降位置之间可移动；以及

设置以隔离所述阴影框架的至少一部分的顶护板，其中所述顶护板是冷却 的。

10.根据权利要求9所述的装置，其特征在于，还包括：

与所述顶护板耦接的冷却歧管，其中所述冷却歧管冷却所述顶护板；

与所述冷却歧管耦接的下护板，其中当在所述下降位置时所述阴影框架设 置在所述下护板上；以及

与所述冷却歧管耦接的歧管架。

11.根据权利要求10所述的装置，其特征在于，所述顶护板、所述下护 板和所述歧管架的至少其中之一与所述冷却歧管是一整体。

12.一种防护套件，其特征在于，包括：

歧管架；

与所述歧管架耦接的冷却歧管，其中在所述冷却歧管内耦接冷却管道；

与所述冷却歧管耦接的顶护板，其中所述顶护板具有小于所述冷却歧管内 宽度的内宽度；以及

与所述冷却歧管耦接的下护板，其中所述下护板具有一内宽度，该内宽度 大于所述顶护板的内宽度，但是小于所述冷却歧管的内宽度。

13.根据权利要求12所述的防护套件，其特征在于，所述顶护板、所述 下护板和所述歧管架的至少其中之一与所述冷却歧管是一整体。