[实用新型]喷金仪样品台

说明书

技术领域

本实用新型提供一种喷金仪样品台，属于测量仪器技术领域。

背景技术

扫描电子显微镜要求试样必须导电，对于不导电的物质要通过镀膜(Au.Pt.Au-Pd)使其导电，我们目前使用的是英国Quorum Technologies LTD公司生产的高精密喷金仪，它首先要通过真空泵抽真空，然后采用离子溅射的方法，在样品表面喷镀一定厚度的白金。如果镀层太薄的话，样品会由于放电现象而导致图像不清。由于抽真空需要较长时间，且Pt靶非常昂贵，而此喷金仪自配的样品台最多放置6个样品座的槽，样品座活动安装在槽中，所以每次花费大量时间最多只能喷镀6个样品，且成本很高。假如一个客户恰好送来7个样品的话，必须喷镀两次，成本就要加倍。所以如何尽量减少成本而保持较好的成像效果是我们要解决的一个重要问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种能解决上述问题、且无须拆卸原样品台、工作性能优良的喷金仪样品台。其技术方案为：

包括一带底座的样品承载台，样品承载台上设有6个均布在同一圆周上放置样品座的槽孔，其特征在于：增设一个面积大、均布有更多个槽孔的圆台，圆台的底部中心设有与样品承载台相吻合的凹槽，圆台经凹槽扣合在样品承载台的上端面上。

所述的喷金仪样品台，多个槽孔均布在环绕圆台中心直径不同的两个圆周上。

所述的喷金仪样品台，圆台的槽孔内设有螺纹。

其工作原理为：当样品不大于6个时，放入原有的样品承载台的槽孔内喷金即可；多于6个，就将圆台扣合在样品承载台的上端面上，再将样品放入圆台的槽孔内喷金即可，这样大小不同的多个样品座就可以同时放入圆台上同时喷金。

本实用新型与现有技术相比，其优点为：1.无须拆卸原样品台，不会损害仪器；2.操作简单，使用方便；3.一次可喷镀多个样品，节省大量白金，延长Pt靶的使用寿命；4.节省时间，提高工作效率。

附图说明

图1是本实用新型实施例的结构示意图；

图2是图1所示实施例中圆台的俯视图。

图中：1、底座 2、样品承载台 3、槽孔 4、圆台 5、凹槽 6、槽孔 7、样品座

具体实施方式

样品承载台2上设有6个均布在同一圆周上放置样品座7的槽孔3，底座1固定在样品承载台2的底部中心，增设一个面积大、设有20个槽孔6的圆台4，圆台4的底部中心设有与样品承载台2相吻合的凹槽5，圆台4经凹槽5扣合在样品承载台2的上端面上，圆台4上的20个槽孔6均布在环绕圆台4中心直径不同的两个圆周上，其中部分槽孔6中安装有大小不同的样品座7。

根据需要，圆台4的槽孔6内也可设有螺纹。