[实用新型]简易真空压电传感器无效
| 申请号： | 200720159144.7 | 申请日： | 2007-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN201149573Y | 公开（公告）日： | 2008-11-12 |
| 发明（设计）人： | 亓永;申大忠;张万正 | 申请（专利权）人： | 亓永 |
| 主分类号： | G01N11/16 | 分类号： | G01N11/16;G01N5/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 271100山东省莱芜市经济*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 简易 真空 压电 传感器 | ||
【权利要求书】：
1、一种简易真空压电传感器，其特征在于：它由玻璃容器(1)、玻璃环(2)、硅酸镧镓晶片(3)、入口玻璃管(4)、旋塞(5)、微量注射器(6)、锥形管(7)、出口玻璃管(8)及金膜电极(9)组成，金膜电极(9)为“钥匙孔”形，用硅橡胶固定于玻璃环上构成检测池，置于长方体玻璃容器(1)中，玻璃容器(1)上方插两根带旋塞(5)的玻璃管，一根与锥形管和注射器相连，作为气体入口，另一根作为气体出口与真空泵相连。
2、根据权利要求1所述的简易真空压电传感器，其特征在于：硅酸镧镓晶片(3)可以为圆形。
3、根据权利要求1或2所述的简易真空压电传感器，其特征在于：金膜电极(9)可以采用铂或者银材料制成。
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