[实用新型]一种用于直拉硅单晶炉热场的主发热体有效
| 申请号： | 200720169560.5 | 申请日： | 2007-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN201063884Y | 公开（公告）日： | 2008-05-21 |
| 发明（设计）人： | 吴志强;戴小林;王学锋;姜舰 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院有研半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/64 | 分类号： | H05B3/64 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郭佩兰 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 直拉硅单晶炉热场 发热 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于直拉硅单晶炉热场的主发热体，它由多个发热片组成，每片呈波浪状，波浪状的两个端部带有电极，其特征在于：在波浪转弯处的外壁为直边倒角C1、C2，直边与发热体轴线的倾角为10-80度其波浪转弯处的内壁为圆弧倒角，其曲率半径为R2。
2.根据权利要求1所述的一种用于直拉硅单晶炉热场的主发热体，其特征在于：所述的直边倒角C1、C2的数值分别为1-200毫米，R2的数值为2-200毫米。
3.一种用于直拉硅单晶炉热场的主发热体，它由多个发热片组成，每片呈波浪状，波浪状的两个端部带有电极，其特征在于：波浪转弯处的外壁为圆弧，其曲率半径为R1、波浪转弯处的内壁为圆弧，其曲率半径为R2。
4.根据权利要求3所述的一种用于直拉硅单晶炉热场的主发热体，其特征在于：其曲率半径为R1的数值为10-500毫米；曲率半径为R2的数值为2-200毫米。
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