[实用新型]硅微压电超声换能器无效
| 申请号： | 200720169897.6 | 申请日： | 2007-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN201079775Y | 公开（公告）日： | 2008-07-02 |
| 发明（设计）人： | 郝震宏;乔东海 | 申请（专利权）人： | 中国科学院声学研究所 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06;H01L27/20;H01L21/822 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王勇 |
| 地址： | 100080北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压电 超声 换能器 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅微压电超声换能器，包括具有硅杯结构的硅基片(100)，位于该硅基片(100)上的支撑层(103)以及位于支撑层(103)上的N个压电换能单元；其特征在于，所述硅基片(100)的硅杯结构上部具有选择性掺杂层，该选择性掺杂层上具有N个与所述压电换能单元相对应的通孔；所述N至少为2。
2.按权利要求1所述的硅微压电超声换能器，其特征在于，所述支撑层(103)可以是氮化硅薄膜、二氧化硅薄膜、多晶硅薄膜、硅薄膜或以上薄膜组成的复合膜。
3.按权利要求1所述的硅微压电超声换能器，其特征在于，所述通孔可以是圆形或矩形。
4.按权利要求1所述的硅微压电超声换能器，其特征在于，所述压电换能单元由下电极(107)，压电薄膜(108)和上电极(109)组成。
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