[实用新型]一种非晶硅薄膜太阳能电池激光刻划设备

权利要求书

1.一种非晶硅薄膜太阳能电池激光刻划设备，包括X轴运动系统、X轴基座、Y轴运动系统、Y轴基座、工装、立柱和光路系统，工装安装在Y轴运动系统上，Y轴运动系统安装在Y轴基座上，光路系统安装在X轴运动系统上，X轴运动系统安装在X轴机座上，X轴机座通过安装于Y轴机座的立柱横跨安装于Y轴机座上方，其特征在于：

还包括左CCD定位系统、右CCD定位系统、左切割头和右切割头，左CCD定位系统和右CCD定位系统以一间距平行固定在X轴基座上，左切割头和右切割头都位于工装上方且都平行安装在X轴运动系统上。

2.根据权利要求1所述的一种非晶硅薄膜太阳能电池激光刻划设备，其特征在于：所述光路系统包括激光器和将激光器发出的激光束分别引导到所述左切割头和右切割头的双路引导单元。

3.根据权利要求1或2所述的一种非晶硅薄膜太阳能电池激光刻划设备，其特征在于：所述工装包括工装基板、至少三个分布安装在工装基板表面的不在同一直线上的点支撑柱，以及安装于基板上的用于定位非晶硅薄膜太阳能电池板的二维定位机构。

4.根据权利要求3所述的一种非晶硅薄膜太阳能电池激光刻划设备，其特征在于：所述二维定位机构包括三个固定定位点和三个气缸定位点，其中第一固定定位点和第一气缸定位点同线定位第一维方向，第一固定定位点固定在工装基板上，第一气缸定位点对应第一固定定位点沿第一维方向设置在工装基板上，余下两个固定定位点和两个气缸定位点定位第二维方向，第二固定定位点和第三固定定位点都固定在工装基板上，第二气缸定位点和第三气缸定位点分别对应第二固定定位点和第三固定定位点沿第二维方向设置在工装基板上。

5、根据权利要求2所述的一种非晶硅薄膜太阳能电池激光刻划设备，其特征在于：所述激光器为波长是1064nm的固体激光器。

6、根据权利要求1所述的一种非晶硅薄膜太阳能电池激光刻划设备，其特征在于：所述X轴运动系统包括用于调节左切割头和右切割头间距的双头间距调节装置，所述右切割头安装在双头间距调节装置上。