[实用新型]一种可连续调谐的全固态紫外激光器

权利要求书

1. 一种可连续调谐的全固态紫外激光器，包括沿光的传播方向依次布置的泵浦源(1)、第一光学耦合透镜(2a)、激光增益介质(3)、调谐元件(4)、全反镜(5)、输出镜(6)、光路转折镜(8)、第二光学耦合透镜(2b)和倍频晶体(7)，其特征在于：所述的输出镜(6)的抛光面沿X轴分为两部分或分为三部分或分为四部分分别镀膜。

2. 根据权利要求1所述的一种可连续调谐的全固态紫外激光器，其特征在于：所述的输出镜(6)抛光面沿X轴分为两部分镀膜，镀两种带宽为100nm膜系——700～800nm和800～900nm；输出镜(6)抛光面的一半镀700～800nm的部分反射膜，700nm透过率为T＝4～8％，每10nm透过率增加1％～2％；另一半镀800～900nm的部分反射膜，800nm透过率为T＝18％～20％，每10nm透过率降低1％～2％。

3. 根据权利要求1所述的一种可连续调谐的全固态紫外激光器，其特征在于：所述的输出镜(6)抛光面沿X轴分为三部分镀膜，镀三种带宽为100nm膜系——600～700nm、700～800nm和800～900nm；输出镜(6)抛光面的三分之一镀600～700nm的部分反射膜，700nm透过率为T＝4～8％，每10nm透过率降低0.1％～0.2％；输出镜(6)中间的三分之一镀700～800nm的部分反射膜，700nm透过率为T＝4～8％，每10nm透过率增加1％～2％；剩下的三分之一镀800～900nm的部分反射膜，800nm透过率为T＝18％～20％，每10nm透过率降低2％，则900nm的透过率为T＝4％～8％。

4. 根据权利要求1所述的一种可连续调谐的全固态紫外激光器，其特征在于：所述的输出镜(6)抛光面沿X轴分为四部分镀膜，镀四种带宽为100nm膜系——600～700nm、700～800nm、800～900nm和900～1000nm；输出镜(6)抛光面的四分之一镀600～700nm的部分反射膜，700nm透过率为T＝4％～8％，每10nm透过率降低0.1％～0.2％；输出镜的四分之一镀700～800nm的部分反射膜，700nm透过率为T＝4％～8％，每10nm透过率增加1％～2％；四分之一镀800～900nm的部分反射膜，800nm透过率为T＝20％，每10nm透过率降低1％～2％；剩下的四分之一镀900～1000nm的部分反射膜，900nm透过率为T＝4％～8％，每10nm透过率降低0.1％～0.2％。

5. 根据权利要求1所述的一种可连续调谐的全固态紫外激光器，其特征在于：所述的泵浦源(1)为输出波长为532nm的LD列阵泵浦Nd：YAG倍频激光器或者为输出波长为532nm的灯泵Nd倍频激光器或者为输出波长为532nm的氩离子激光器；泵浦源(1)输出的方式是连续或为准连续或为脉冲。

6. 根据权利要求1所述的一种可连续调谐的全固态紫外激光器，其特征在于：所述的激光增益介质(3)为能够实现调谐输出的钛宝石激光晶体或为紫翠宝石或为镁橄榄石或为掺络的钇钕石榴石。

7. 根据权利要求1所述的一种可连续调谐的全固态紫外激光器，其特征在于：所述的调谐元件(4)可以是棱镜或者是光栅，调谐元件(4)的数量可以是一个或者是多于一个。

8. 根据权利要求1所述的一种可连续调谐的全固态紫外激光器，其特征在于：所述的倍频晶体(7)为三硼酸锂或为磷酸钛氧钾或为偏硼酸钡或为铌酸锂；倍频晶体(7)放置在输出镜(6)之外或者放置在输出镜(6)之内。

9. 根据权利要求1所述的一种可连续调谐的全固态紫外激光器，其特征在于：谐振腔型是线性腔型结构或者是折叠腔型结构或者是环型腔结构。