[实用新型]激光吸收光谱痕量气体分析装置

权利要求书

1.一种激光吸收光谱痕量气体分析装置，包括测量气室(10)，在测量气室(10)两端分别设有激光发射装置和激光接收装置，所述激光接收装置连接有信号处理显示装置(15，16，18)，其特征在于：在所述测量气室(10)内还设有一筒状校准气室(9)，该校准气室(9)端部带有校准激光发射装置和校准激光接收装置，所述校准激光发射装置连接于所述激光发射装置的光路，所述校准激光接收装置连接于信号处理显示装置(15，16，18)，所述校准气室(9)上还设有平衡气室内外压力的压力平衡结构。

2.根据权利要求1所述的激光吸收光谱痕量气体分析装置，其特征在于：所述压力平衡结构为一压力膜盒(9-3)，该压力膜盒(9-3)安装于校准气室外壳(9-5)并与校准气室内腔连通。

3.根据权利要求1所述的激光吸收光谱痕量气体分析装置，其特征在于：所述校准激光发射装置包括准直器(7)和光纤分束器(3)，所述光纤分束器(3)一端连接于所述激光发射装置的光路，光纤分束器(3)的另一端通过光纤(5)连接于准直器(7)。

4.根据权利要求3所述的激光吸收光谱痕量气体分析装置，其特征在于：所述校准激光接收装置包括接收器和探测器(19)，所述接收器为在校准气室(9)内与所述准直器(7)相对设置的反射镜(9-6)，而所述光纤分束器为2×2光纤分束器，在所述光纤分束器(3)连接激光发射装置的一端带有第二引出光纤，该光纤连接于所述探测器(19)。

5.根据权利要求1所述的激光吸收光谱痕量气体分析装置，其特征在于：所述激光发射装置包括激光发射器(1，2)、光纤准直器(6)和连接二者的光纤(4)，所述激光接收装置包括空间光——光纤耦合器(13)、探测器(17)和连接空间光——光纤耦合器(13)与探测器(17)的光纤(14)，所述探测器(17)连接于所述信号处理显示装置(15，16，18)。

6.根据权利要求5所述的激光吸收光谱痕量气体分析装置，其特征在于：在所述光纤准直器(6)端部设有光学扩束器(8)，而在所述空间光——光纤耦合器(13)端部设有光学缩束器(12)。

7.根据权利要求5所述的激光吸收光谱痕量气体分析装置，其特征在于：所述激光发射器(1，2)包括激光二极管光源(2)和激光器调制驱动电路(1)。

8.根据权利要求1所述的激光吸收光谱痕量气体分析装置，其特征在于：所述信号处理显示装置包括探测器信号预处理电路(18)、总控制与数据处理电路(16)和显示模块(15)，所述总控制与数据处理电路(16)控制所述激光发射装置激光发射、处理预处理电路(18)输出信号并在显示模块(15)显示吸收光谱。