[实用新型]板状物暂放装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种板状物的暂放装置，特别是一种可调整为批次暂放二板状物或三板状物的暂放装置。

背景技术

半导体基板或液晶基板等制造由多数的处理制程或检查制程所组成，在各制程中为了制程的便利，一般会将多数片的基板收藏于卡匣(cassette)中，以便将卡匣依次运送至处理装置或检查装置，并藉由基板运送机器人的承载臂自卡匣内逐片取出基板，进行所需的制程处理或检查处理，其中当基板运送机器人自卡匣内逐片取出基板且尚未进行进一步处理时，会先将基板暂时放置于一暂存台上，以利用暂存台上由数个承载架所建构出的承载区域暂时承载基板。

随着基板尺寸的改变，基板在卡匣内的配置可为两列或三列配置，因此基板运送机器人批次取出且运送两片基板或三片基板时，暂存台亦需对应区隔出二承载区或三承载区；然而在习知的暂存台中，承载架固定于暂存台上，每一暂存台所建构的承载区大小固定，因此需具备有多台各自具有二承载区或三承载区的暂存台，以随时依据不同的卡匣做更换，在制程上具有更换繁琐且成本高的缺失。

因此若能提出一种在同一暂存台中，可随时调整承载区的大小以批次放置二板状物或三板状物的板状物暂放装置，即为本实用新型的目标。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型目的之一提出一种板状物暂放装置，藉由一传动机构调整一对具有多个第一承载爪的第一侧板，及一对具有多个第二、第三承载爪的第二侧板的位置，使第一、第二侧板可区隔出二承载区或三承载区，进而藉由第一、第二及第三承载爪批次承载二板状物或三板状物，以具备有简化制程且降低成本的优点。

本实用新型目的之一提供板状物暂放装置，其具有较高的承载强度，将可大幅改善大尺寸基板放置于承载爪上的安全疑虑。

为了达到上述目的，本实用新型一实施例的板状物暂放装置包含：一本体，其内部设置一传动机构；二第一侧板平行且间隔设置并与传动机构连接，二第一侧板的相对表面分别延设多个间隔排列的第一承载爪；二第二侧板平行设置于二第一侧板之间，且与传动机构连接，二第二侧板具有彼此面对的二内侧面，及分别与二第一侧板面对的二外侧面，二内侧面分别延设有相对且偏置排列的多个第二承载爪，每一第二侧板上形成有多个开槽；以及多个第三承载爪间隔排列设置于二第二侧板的二外侧面，以与第一承载爪相对；其中，二第二侧板受传动机构驱动进行一第一作动及一第二作动其中之一，第一作动使二第二侧板相互远离一间隔后停止，第二作动使二第二侧板彼此位移靠近以并排结合，且每一第二侧板上的每一第二承载爪分别相互穿设过另一第二侧板上的每一开槽。

附图说明

图1所示为本实用新型一实施例板状物暂放装置的一作动状态结构示意图。

图2所示为本实用新型一实施例板状物暂放装置的另一作动状态结构示意图。

图3所示为本实用新型一实施例板状物暂放装置应用于一暂存台示意图。

图4所示为本实用新型一实施例板状物暂放装置放置基板的应用示意图。

图5所示为本实用新型一实施例板状物暂放装置放置基板的另一应用示意图。

主要元件符号说明：

10        板状物暂放装置

12        本体

14、14’  第一侧板

16、16’  第二侧板

161、161’内侧面

162、162’外侧面

18、18’  第一承载爪

20、20’  第二承载爪

22、22’  开槽

24、24’  第三承载爪

30、30’  第一承载区

40        第二承载区

50、50’  第三承载区

60        暂存台

62        基板

具体实施方式