[发明专利]叉指型、全惠斯通电桥流量传感器变换器

权利要求书

1.一种传感器设备，其包括：

加热元件，该加热元件包括上游侧和下游侧；

第一热传感组，该第一热传感组被配置成邻近加热元件的上游侧并包括第一传感元件和第二传感元件，该第一传感元件和第二传感元件被配置成蜿蜒的叉指状图案；以及

第二热传感组，该第二热传感组被配置成邻近加热元件的下游侧并包括第三传感元件和第四传感元件，该第三传感元件和第四传感元件被配置成蜿蜒的叉指状图案，

其中，第一热传感元件被耦合到第三热传感元件，以形成惠斯通电桥的一半，并且其中，第二热传感元件被耦合到第四热传感元件，以形成惠斯通电桥的另一半。

2.权利要求1所述的设备，其中，加热元件包括加热电阻器。

3.权利要求2所述的设备，其中，加热电阻器被配置成蜿蜒的图案。

4.权利要求1所述的设备，其中，第一传感元件、第二传感元件、第三传感元件和第四传感元件中的至少一个是电阻温度检测器(RTD)。

5.权利要求1所述的设备，还包括被配置成邻近第一热传感组和第二热传感组的多个热隔离势垒。

6.一种用于感测质量流的系统，其包括：

被配置来耦合到微芯片的底部；

加热元件，该加热元件被耦合到该底部并被配置成具有上游侧和下游侧的蜿蜒的图案；

第一热传感元件，该第一热传感元件被耦合到该底部并以蜿蜒的图案被配置成邻近加热元件的上游侧，并进一步被配置为惠斯通电桥的第一支路；

第二热传感元件，该第二热传感元件被耦合到该底部并以蜿蜒的图案被配置成与第一热传感元件相互交叉，并进一步被配置为惠斯通电桥的第二支路；

第三热传感元件，该第三热传感元件被耦合到该底部并以蜿蜒的图案被配置成邻近加热元件的下游侧，并进一步被配置为惠斯通电桥的第三支路；以及

第四热传感元件，该第四热传感元件被耦合到该底部并被以蜿蜒的图案配置成与第三热传感元件相互交叉，并进一步被配置为惠斯通电桥的第四支路。

7.权利要求6所述的系统，还包括：

被插入在第一热传感元件和第二热传感元件与底部之间的第一热隔离势垒；以及

被插入在第三热传感元件和第四热传感元件与底部之间的第二热隔离势垒。

8.权利要求6所述的系统，还包括第一引线焊盘和第二引线焊盘，该第一引线焊盘被耦合到第一传感元件和第二传感元件并被配置来耦合到电压源，以及该第二引线焊盘被耦合到第三和第四传感元件并被配置来耦合到电压源。

9.一种用于感测质量流的方法，其包括：

提供加热元件，该加热元件被配置成蜿蜒的图案并包括上游侧和下游侧；

提供第一热传感组，该第一热传感组与被配置为惠斯通电桥的第一半的加热元件的上游侧相邻，并且该第一热传感组包括被配置成蜿蜒的叉指状图案的第一热传感元件和第二热传感元件；

提供第二热传感组，该第二热传感组与被配置为惠斯通电桥的第二半的加热元件的下游侧相邻，并且该第二热传感组包括被配置成蜿蜒的叉指状图案的第三热传感元件和第四热传感元件；

通过第一热传感组测量第一温度；

通过第二热传感组测量第二温度；以及

响应于第一和第二温度来确定质量流率。

10.权利要求9所述的方法，还包括提供被配置成邻近第一和第二热传感组的多个热隔离势垒。