[发明专利]用于产生等离子流的装置

权利要求书

1.一种用于产生等离子流的装置，具有至少一个放电管(1)，通 过一个气体软管(5)馈送的处理气体流过所述放电管，其中放电管(1) 的壁由电介质材料构成，并且其中第一个电极(2)构造成实心的，并 且以它在其纵向方向延伸的形式被设置在放电管(1)内部的中心处， 其中第二个电极(3)在轴向方向上同心地围绕着放电管(1)的壁设 置，使得第一个电极(2)、放电管(1)和第二个电极(3)构成一个 具有开放端面的、同轴的、并在横截面上同心的结构，在所述开放端 面处可产生等离子流，其特征在于，一个由导电材料构成的放电防护 装置(4)被设置在放电管(1)上，这个放电防护装置与第一个电极 (2)相连接，所述放电防护装置(4)接纳气体软管(5)的开放端， 并且放电防护装置(4)的朝向气体软管(5)的开放端的一侧如此延 伸，使得它以一个中间间隙包围所述气体软管(5)。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，放电防护装置(4) 的朝向气体软管(5)的开放端的一侧以一个角度α呈锥形地延伸。

3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，放电防护装置(4) 的朝向气体软管(5)的开放端的一侧通过一个中央的孔延伸。

4.如权利要求1至3中任一项所述的装置，其特征在于，第二个 电极(3)以与放电管(1)有一个径向间距的方式围绕所述放电管设 置。

5.如权利要求1至4中任一项所述的装置，其特征在于，在其上 可产生等离子流的所述装置的端面上设装一个电介质的同心的端接帽 (8)，它围持住第二个电极(3)。

6.如权利要求5所述的装置，其特征在于，所述端接帽(8)由 聚四氟乙烯、具有相应热稳定性和机械稳定性的其它塑料或陶瓷构成。

7.如权利要求5或6中任一项所述的装置，其特征在于，所述端 接帽(8)由两部分构成，即设置了一个附加的内部的金属衬套(9)， 该金属衬套与第二个电极(3)导电连接。

8.如权利要求1至4中任一项所述的装置，其特征在于，第二个 电极(3)完全或部分地被电介质包围。

9.如权利要求1至8中任一项所述的装置，其特征在于，在其上 可馈送处理气体的放电管(1)的端面处设置了可流过处理气体的过滤 器。

10.如权利要求9所述的装置，其特征在于，所述过滤器(7)由 烧结材料，特别是烧结青铜构成。

11.如权利要求9或10中任一项所述的装置，其特征在于，在具 有多个放电管(1)的情况下每个放电管都具有一个过滤器(7)。

12.如权利要求9或10中任一项所述的装置，其特征在于，在具 有多个放电管(1)的情况下所有这些放电管共同具有一个单个的过滤 板(12)。