[发明专利]铈系研磨材料无效
| 申请号： | 200780001175.2 | 申请日： | 2007-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN101356248A | 公开（公告）日： | 2009-01-28 |
| 发明（设计）人： | 瓜生博美;山崎秀彦;小林大作;桑原滋 | 申请（专利权）人： | 三井金属鉱业株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;C01F17/00;B24B37/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 冯雅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨 材料 | ||
【权利要求书】：
1.铈系研磨材料，其特征在于，它是相对于全部稀土类氧化物(TREO)的氧化铈含量为95质量％以上的铈系研磨材料，利用激光衍射·散射法测得的从小粒径侧开始的累积体积50％的粒径(D50)值为1.3～4.0μm。
2.如权利要求1所述的铈系研磨材料，其特征在于，通过基于Cu-Kα1射线的X射线衍射分析测定的氧化铈的最大峰的半宽度以2θ计为0.1～0.5°。
3.铈系研磨材料淤浆，其特征在于，含有权利要求1或权利要求2所述的铈系研磨材料。
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