[发明专利]磁盘用玻璃衬底的制造方法和磁盘的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及在HDD(硬盘驱动器)等的磁盘装置中安装的磁盘 的制造方法和磁盘用玻璃衬底的制造方法。

背景技术

目前伴随快速的IT产业的发展，对于信息记录技术、特别是磁 记录技术来说，要求飞跃的技术革新。在HDD等中安装的磁盘中， 根据高容量化的要求，需要能实现大于等于40G比特/英寸²(1英寸 为25.4mm)的信息记录密度的技术。

于是，最近，作为适合于高记录密度化的磁盘用衬底，玻璃衬底 是引人注目的。由于玻璃衬底与金属的衬底相比其刚性高，故适合于 磁盘装置的高速旋转，此外，由于能得到平滑且平坦的表面，故容易 使磁头的浮起量下降，对于记录信号的S/N比的提高和高记录密度化 是优选的。

通常，通过磨削和研磨形成为既定的大小的玻璃盘的表面来制造 磁盘用的玻璃衬底。在此，作为形成既定的大小的玻璃盘的方法，例 如有从用浮法成形为板状的玻璃材料切出玻璃盘的方法。

在下述非专利文献1中，记载了利用浮法得到的板状玻璃的情 况。此外，在下述专利文献1中记载了使用切割刀在玻璃板中形成切 道而得到的玻璃衬底的情况。

在下述专利文献2中记载了利用了浮法的信息记录介质用衬底 及其制造方法等。

此外，若举出参考文献，则作为关于磁盘用玻璃衬底的在先的技 术文献，例如有日本专利第2785906号、日本专利特开平2-92837 号、日本实用新型公昭57-23452号、日本专利特公昭55-6584号、 日本专利特公平5-35095号、日本专利特公昭55-29019号等。

专利文献1：日本专利公报专利第2973354号公报

专利文献2：国际公开公报WO 02/076675号公报

非专利文献1：作花济夫及其他2人，“ガラスハンドリング”(玻 璃处理)，第1版第8次印刷，株式会社朝仓书店，1985年11月20 日，p.412-413

发明内容

(发明要解决的问题)

如果打算在用浮法制造了的板状的玻璃坯料上形成切道并切出 方形玻璃板或盘状玻璃板，则有时不能很好地切断或在切出了的玻璃 板的侧面上产生缺陷、伤痕、裂纹。

由于磁盘用玻璃衬底被设计成可安装在硬盘驱动器的狭窄的外 壳内，故板厚受到了严格限制。因此，将用浮法制造的板状的玻璃坯 料也做成了薄板。因而，在切断处理中在玻璃板的侧面上容易产生缺 陷、伤痕、裂纹。

因此，在磁盘用玻璃衬底的制造方法中，如果打算在用浮法制造 的板状的玻璃坯料上形成切道并切出方形玻璃板或盘状玻璃板，则由 于容易产生不合格品，生产效率是不充分的，故产生了阻碍大量生产 的问题。

最近，由于安装磁盘的硬盘驱动器(HDD)的需要急剧地扩大 了，故与以前相比更有必要与大量生产相对应地构筑磁盘用玻璃衬底 的生产工序。此外，有必要通过提高磁盘用玻璃衬底的生产效率，以 供给廉价的磁盘用玻璃衬底来适应市场的需求。

此外，最近，在磁盘中越来越要求大于等于80G比特/英寸²(1 英寸为25.4mm)的信息记录密度。除了HDD作为以前的计算机用存 储装置的需求外，这还与越来越多地将HDD安装在信息移动终端 (PDA)或移动电话、数码相机、车辆导航系统等中的情况有关系。

在这些可移动的用途的情况下，安装HDD的外壳空间与计算机 相比明显较小，故有必要使HDD小型化。为此，有必要减小在HDD 中安装的磁盘的直径。例如，在计算机用途中可使用3.5(英寸)型 或2.5(英寸)型的磁盘，但在上述可移动用途的情况下，使用比上 述直径小的例如大于等于0.8(英寸)型且小于等于1.8(英寸)型等 的小直径的磁盘。

在从上述板状的玻璃坯料切出这样的直径小的玻璃盘的情况下， 存在特别是形成不合格品的比例高的问题。

此外，即使是2.5(英寸)型等直径相对较大的磁盘用玻璃衬底， 由于在中心部形成的圆孔的直径小，故在切出具备这样的圆孔的玻璃 盘的情况下，也存在特别是在圆孔部分中容易发生有缺陷的不合格品 的问题。