[发明专利]磁盘用玻璃基板的制造方法及磁盘制造方法有效
申请号: | 200780001238.4 | 申请日: | 2007-09-11 |
公开(公告)号: | CN101356040A | 公开(公告)日: | 2009-01-28 |
发明(设计)人: | 片桐诚宏;吉丸刚太郎 | 申请(专利权)人: | HOYA株式会社 |
主分类号: | B24B9/08 | 分类号: | B24B9/08;B24B1/00;B24B37/00;G11B5/84 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 何腾云 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 磁盘 玻璃 制造 方法 | ||
1.一种磁盘用玻璃基板的制造方法,包括若干个把含有研磨磨粒 的研磨液供给到玻璃基板与研磨该玻璃基板的主表面的研磨垫之间、 使上述玻璃基板与上述研磨垫相对移动来研磨上述玻璃基板的主表面 的研磨工序,其特征在于,上述若干个研磨工序,包含先行研磨工序 和后续研磨工序;
上述先行研磨工序进行的研磨,使用设计了组合的由第1研磨磨 粒和第1研磨垫构成的第1组合,使上述玻璃基板的主表面的端部形 状成为比主表面的中央部隆起或下降的形状;
上述后续研磨工序进行的研磨,使上述玻璃基板朝着抵消在上述 先行研磨工序中形成的隆起或下降的形状的方向变化、将上述端部形 状形成为所需形状。
2.如权利要求1所述的磁盘用玻璃基板的制造方法,其特征在于, 上述所需形状是指上述玻璃基板的端部形状实质上为平坦状。
3.如权利要求1所述的磁盘用玻璃基板的制造方法,其特征在于, 上述所需形状是指上述玻璃基板的端部形状比中央部下降的形状,在 上述后续研磨工序之后进行化学强化处理,该化学强化处理是通过对 玻璃基板进行离子交换而实施强化的。
4.如权利要求1所述的磁盘用玻璃基板的制造方法,其特征在于, 在上述先行研磨工序中,如果进行使上述玻璃基板的主表面的端部形 状成为隆起形状的研磨,则在上述后续研磨工序中,这样进行研磨: 在研磨上述端部形状平坦的玻璃基板时,使该端部形状成为比中央部 下降的形状;
在上述先行研磨工序中,如果进行使上述玻璃基板的主表面的端 部形状成为下降形状的研磨,则在上述后续研磨工序中,这样进行研 磨:在研磨上述端部形状平坦的玻璃基板时,使该端部形状成为比中 央部隆起的形状。
5.如权利要求1所述的磁盘用玻璃基板的制造方法,其特征在于, 在上述先行研磨工序中,如果进行使上述玻璃基板的主表面的端部形 状成为隆起形状的研磨,则在上述后续研磨工序中,使用硬度比上述 先行研磨工序中用的研磨垫高的研磨垫;
在上述先行研磨工序中,如果进行使上述玻璃基板的主表面的端 部形状成为下降形状的研磨,则在上述后续研磨工序中,使用硬度比 上述先行研磨工序中用的研磨垫低的研磨垫。
6.如权利要求1所述的磁盘用玻璃基板的制造方法,其特征在于, 上述后续研磨工序进行的研磨,使进行了该后续研磨工序后的上述玻 璃基板主表面的粗糙度Ra成为0.2nm以下。
7.一种磁盘的制造方法,其特征在于,在用权利要求1至6中任 一项所述的磁盘用玻璃基板的制造方法得到的玻璃基板的表面,至少 形成磁性层。
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